Thiết bị lắng đọng Au Gold, Máy lắng đọng Silve / Gold PVD, Hệ thống phún xạ PVD màng
Tóm tắt: Quy trình DPC- Direct Plating Copper là công nghệ sơn tiên tiến được áp dụng với các ngành công nghiệp LED / bán dẫn / điện tử. Một ứng dụng điển hình là Chất nền bức xạ gốm. Sự lắng đọng màng dẫn điện Cooper trên Nhôm Oxide (Al 2 O 3), chất nền AlN bằng công nghệ phún xạ chân không PVD, so với sản xuất truyền thống
phương pháp: DBC LTCC HTCC, chi phí sản xuất thấp hơn nhiều là tính năng cao của nó.
Đội ngũ công nghệ hoàng gia đã hỗ trợ khách hàng của chúng tôi phát triển quy trình DPC thành công với công nghệ phún xạ PVD.
Từ khóa: Bộ phận niêm phong gốm, quy trình DPC, Hệ thống phún xạ PVD đồng, Chip gốm LED với mạ Cooper, Al 2 O 3 , Bảng mạch gốm AlN, Tấm Al2O3 trên LED, Chất bán dẫn
Các ứng dụng của DPC:
· LỪA ĐẢO
· Chất nền cho các tế bào tập trung năng lượng mặt trời
· Bao bì bán dẫn điện bao gồm điều khiển động cơ ô tô
· Điện tử quản lý năng lượng ô tô hybrid và điện
· Gói cho RF
· Thiết bị vi sóng
Hiệu suất công nghệ DPC
Vật liệu nền khác nhau: Gạch (Al3O2, AlN), Thủy tinh và Si
Tính năng, đặc điểm:
Thông sô ky thuật
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 9.0 * 10 - 5 Pa;
3. Thời gian bơm xuống: từ atm đến 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Nguồn lắng đọng: catốt phún xạ Gencoa, catốt hồ quang được điều khiển, nguồn ion
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
6. Làm nóng: từ nhiệt độ phòng đến tối đa. 500oC,
9. Nguồn ion cho quá trình PECVD và PA PVD.
Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn thành chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng hút chân không
1.1 Kích thước: Đường kính trong: 1200mm
Chiều cao bên trong: 1500mm
1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304
Cửa và mặt bích SUS304
Cấu trúc buồng tăng cường: thép nhẹ SS41, với xử lý bề mặt sơn hoàn thiện.
Khung vỏ thép SS41 nhẹ với xử lý bề mặt sơn hoàn thiện.
1.3 Khiên buồng: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: 2 trên cửa
1.5 Van thông hơi buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)
1.6 Cửa: Vật liệu SUS304
2. Hệ thống bơm chân không Rou g Breath :
Bơm chân không cánh quạt quay dầu + Bơm giữ
3. Hệ thống bơm chân không cao : Bơm phân tử treo từ tính - 2 bộ
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện- PLC + Hệ thống vận hành màn hình cảm ứng:
Các nhà cung cấp:
PLC: Màn hình cảm ứng Mitsubishi + (Sản xuất tại Trung Quốc)
Linh kiện điện tử: SCHNEIDER, OMRON.
Hệ thống bảo vệ an toàn: Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị (nước, khí hiện tại, nhiệt độ, v.v.)
Hệ thống xử lý lớp phủ : Quá trình tự động hóa & điều khiển.
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo kiểu nối tiếp
4.2 Cung cấp năng lượng: Công suất phún xạ DC / MF + Nguồn DC Arc + Cung cấp năng lượng thiên vị
4.3 Hệ thống kiểm soát lắng đọng
4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt, tự động sơ tán, tự động phủ
4.5 Hệ thống đo lường
Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Máy đo bút + Máy đo chân không toàn dải - Thương hiệu châu Âu
Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt
MFC: Bộ điều khiển lưu lượng lớn (4 cách),
4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, Lưu lượng nước làm mát, Vận hành sai
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5 . Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn lắng đọng: catốt phún xạ + Nguồn hồ quang + Nguồn ion
5.2 Vật liệu lắng đọng: Đồng, Nhôm, Chrome, Bạc, Vàng, SS, Titanium, v.v.
6. Tiểu hệ thống
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống đường ống nước và van chuyển đổi
7. Môi trường làm việc
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ trong nước: 20 ~ 25oC, 200 lít / phút,
Áp suất nước: 2 ~ 3 kg / cm2,
Công suất: 3 Pha 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, tiêu thụ điện trung bình: 60KW
Khu vực cài đặt: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
Xả: Lỗ thông hơi cho máy bơm cơ
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.
