Máy phủ tantali PVD, Màng tantali được lắng đọng bởi DC Magnetron Sputtering, Mạ PVD Tantali
Tantali được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành công nghiệp điện tử và làm lớp phủ bảo vệ trong nhiều ngành công nghiệp vì khả năng chống ăn mòn tốt.
Màng tantali rải rác được sử dụng rộng rãi trong
1. Ngành công nghiệp vi điện tử vì các màng có thể phản ứng phụt và do đó điện trở suất và hệ số nhiệt độ của điện trở có thể được kiểm soát;
2. Dụng cụ y tế như bộ phận cấy ghép cơ thể vì đặc tính có tính tương hợp sinh học cao;
3. Sơn phủ lên các bộ phận chống ăn mòn, chẳng hạn như tấm tản nhiệt, thân van và ốc vít;
Tantali rơi vãi cũng có thể được sử dụng như một rào cản chống ăn mòn hiệu quả nếu lớp phủ liên tục, bị khuyết tật và bám dính vào chất nền nhằm mục đích bảo vệ.
Ưu điểm kỹ thuật RTAS1000
1. Plug-in Hệ thống thiết kế tích hợp để cài đặt nhanh chóng
2. PLC Siemens, CPU;với phần cứng điều khiển & vận hành PC công nghiệp
3. Có sẵn để theo dõi và chẩn đoán từ xa.
4. Linh hoạt, sẵn sàng để nâng cấp
5. Nhiều cực âm cho tốc độ lắng đọng nhanh
Nhiều lợi ích hơn từ máy:
Thiết kế mạnh mẽ, chất lượng ổn định, chu kỳ nhanh, thời gian chu kỳ nhanh, tốc độ lắng đọng cao
Cấu hình chính | |
MÔ HÌNH | RTAS1000 |
CÔNG NGHỆ | Phún xạ magnetron DC + Mạ hồ quang catốt |
VẬT LIỆU CHAMBER | Thép không gỉ (S304) |
KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ1000 * 1000mm (H) |
LOẠI CHAMBER | Hình dạng D, buồng hình trụ |
HỆ THỐNG RACK & JIG XOAY | Hệ thống lái xe vệ tinh hoặc hệ thống lái xe trung tâm |
CUNG CẤP ĐIỆN | DC Sputtering Power Supply: 2 ~ 4 set Bias Nguồn cung cấp: 1 set Arc Nguồn cung cấp: 11 bộ |
VẬT LIỆU THÀNH PHẦN | Ti / Cr / TiAl, Ta, Au, Ag, Cu, v.v. |
NGUỒN THÀNH PHẦN |
Cathode phún xạ phẳng + cathodes cung tròn Nhận xét: bộ phun DC hình trụ có sẵn |
KIỂM SOÁT | PLC (Bộ điều khiển logic có thể lập trình) + Màn hình cảm ứng (mô hình hoạt động thủ công + tự động + bán tự động) |
HỆ THỐNG BƠM | Bơm cánh gạt: SV300B - 1 bộ (Leybold) |
Máy bơm rễ: WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |
Bơm giữ: D60C - 1 bộ (Leybold) | |
Bơm phân tử treo từ tính: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
BỘ ĐIỀU KHIỂN LƯU LƯỢNG KHÍ MASS | 4 kênh, Sản xuất tại Trung Quốc, mô hình kỹ thuật số Seven Star (CS series,) (Ar, N2, O2, C2H2) |
MÁY ĐO CHÂN KHÔNG | Mô hình: ZDF-X-LE, Sản xuất tại Trung Quốc |
HỆ THỐNG AN TOÀN | Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị |
SƯỞI | Máy sưởi: 20KW.Tối đanhiệt độ: 450 ℃ |
LÀM MÁT | Máy làm lạnh công nghiệp (Nước lạnh) |
SỨC MẠNH TỐI ĐA. | 100KW (Xấp xỉ) |
TIÊU THỤ ĐIỆN NĂNG AVERAGE | 45 KW (Xấp xỉ) |
TRỌNG LƯỢNG THÔ | T (Xấp xỉ) |
CHÂN IN | (L * W * H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
ĐIỆN ĐIỆN | AC 380V / 3 pha / 50HZ / 5 dòng |
Cực âm phún xạ hình trụ Cực âm phún xạ phẳng
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
Tải xuống tài liệu, vui lòng bấm vào đây:Hệ thống lắng đọng phún xạ Magnetron.pdf
Ứng dụng hệ thống lắng đọng phún xạ Magnetron ...