Máy phủ cứng DLC / Thiết bị phủ DLC PECVD / Kim cương như hệ thống phủ chân không Carbon
Lớp phủ kim cương giống như carbon được sử dụng trong các môi trường gia công vật liệu phi kim loại và kim loại yêu cầu trong đó các bề mặt thành phần phải chịu áp lực tiếp xúc cao, bôi trơn không liên tục hoặc môi trường trượt và lăn khô trong điều kiện mài mòn và bám dính nghiêm trọng. Lớp phủ DLC cũng thường được áp dụng cho các dụng cụ y tế và nha khoa và cấy ghép khác nhau để mang lại bề mặt màu đen tối, chống phản xạ và tương thích sinh học với các đặc tính bảo vệ bộ lạc được tăng cường.
Máy này phù hợp với hệ thống sơn chân không sản xuất công nghiệp . Nó trang bị nguồn bay hơi ion hồ quang kích thước lớn và có thể loại bỏ màng kim loại cứng hiệu suất cao bằng công nghệ bay hơi hồ quang, như TiN, TiCN, AlTiN và tất cả các loại phim đặc biệt khác theo yêu cầu của khách hàng.
Lớp phủ DLC (carbon giống kim cương) là sự kết hợp giữa kim cương (SP3) và than chì (SP2). Các tính chất vật lý và hóa học của DLC là trung gian so với kim cương và than chì
Thuộc tính lớp phủ DLC
Lớp phủ DLC trên các bộ phận niêm phong:
Thông số kỹ thuật máy màng mỏng DLC
| MÔ HÌNH | RTSP800 | |||||||
| CÔNG NGHỆ | Quá trình PECVD- phún xạ từ trường + nguồn ion | |||||||
| VẬT LIỆU CHAMBER | Thép không gỉ (S304) | |||||||
| KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ800 * 800mm (H) | |||||||
| LOẠI CHAMBER | Buồng bát diện đều, 2 cửa | |||||||
| HỆ THỐNG ROTATION RACK & JIG | 6 (8) vệ tinh, Max. trọng lượng: 400kgs | |||||||
| CUNG CẤP ĐIỆN | Số lượng của phún xạ: Nguồn cung cấp năng lượng 2 * 24 kw: Nguồn cung cấp điện 1 * 24W cho tùy chọn Nguồn ion Nguồn 2 bộ, nguồn điện AE cho tùy chọn | |||||||
| VẬT LIỆU TIỀN GỬI | Cr / C | |||||||
| NGUỒN GỬI | 2 cặp (4 miếng) Cathodes phún xạ + 2 Vùng phủ nguồn ion: Dia800mm * H550mm; Diện tích đồng nhất: ± 10 ~ 15% | |||||||
| ĐIỀU KHIỂN | PLC (Bộ điều khiển logic lập trình) + Màn hình cảm ứng (thủ công + tự động + mô hình hoạt động bán tự động) | |||||||
| HỆ THỐNG BƠM | Bơm cánh gạt quay: SV300B - 1 bộ (Leybold) | |||||||
| Rễ bơm: WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | ||||||||
| Giữ bơm: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Bơm phân tử rôto từ tính: MAG2200 - 2 bộ (Leybold) | ||||||||
| ĐIỀU KHIỂN HOA HỒNG | 3 kênh, Made in America (nhãn hiệu MKS) | |||||||
| VACUUM GAUGE | Model: ZDF-X-LE, Sản xuất tại Trung Quốc | |||||||
| Nguồn ion tuyến tính | 2 miếng Tiền xử lý, làm sạch huyết tương + lắng đọng hỗ trợ | |||||||
| HỆ THỐNG AN TOÀN | Vô số khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị | |||||||
| SỨC KHỎE | Máy sưởi: 20KW. Tối đa nhiệt độ: 400oC | |||||||
| KẾT HỢP | Máy làm lạnh công nghiệp (nước lạnh) | |||||||
| SỨC MẠNH TỐI ĐA. | 100KW (xấp xỉ) | |||||||
| TIÊU THỤ ĐIỆN TỬ | 45 kw (xấp xỉ) | |||||||
| TRỌNG LƯỢNG | T (xấp xỉ) | |||||||
| IN ẤN | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
| ĐIỆN ĐIỆN | AC 380V / 3 pha / 50HZ | |||||||
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.
