Thiết bị lắng đọng kim loại chân không hiệu suất cao, Máy ép kim loại chân không CsI bằng Crucible nhiệt
Từ khóa:độ phân giải cao, CsI: T1;màng mỏng;Chụp X-quang;phương pháp lắng đọng chân không, sau lắng đọng lớp carbon
CsI màng mỏng lắng đọng cho các thiết bị chụp X-quang là một kỹ thuật tiên tiến để làm bay hơi CsI trên màn hình để cho chất lượng hình ảnh cao.Với hiệu suất độ phân giải cao, cũng được sử dụng rộng rãi trong kiểm tra và thanh tra an ninh, các môn vật lý năng lượng cao, vật lý các khu vực năng lượng hạt nhân, v.v.
Hệ thống phủ bay hơi nhiệt RTEP0913 được phát triển để lắng đọng phim CsI trên hình ảnh tia X trong môi trường áp suất chân không cao.Máy soi chiếu CsI T1 có độ dày từ 2 μm đến 14 μm.Lớp màng carbon có thể được coi là hậu lắng đọng để cải thiện độ phân giải cao.
Cesium Iodide(CsI T1)Máy hút bụiLắng đọngmàn biểu diễnvà đặc điểm
Loại:
lHướng đứng, Xylanh, 1 cửa, mở trước.
Thiết kếĐặc trưng:
lÁp suất chân không cuối cực cao: lên đến 9.0 * 10-5Bố ơi;
lLàm nóng nhanh các thiết bị để có độ bám dính tốt;
l Lựa chọn bơm chân không cao thích hợp và hệ thống bơm để tránh vật liệu nguy hiểm tiếp xúc trong không khí;
lHệ thống sơn chắc chắn, nhỏ gọn và rắn chắc;
lĐộ ổn định cao, làm việc 960 giờ không ngừng nghỉ.
lThiết bị điều khiển độ dày màng Inficon để theo dõi nội tuyến độ dày màng.
lThiết kế và lựa chọn chén nung độc quyền để lắng đọng CsI.
lLớp phủ bề mặt, tối đa.kích thước: 500 * 500mm
lCác khái niệm thiết kế giá đỡ tiên tiến có thể tải 2 miếng đế mỗi lô, nâng cao sản lượng sản xuất.
Thông số kỹ thuật:
lMàn biểu diễn
1.Tối hậuMáy hút bụiSức ép: tốt hơn9.0 * 10-5Bố ơi;
2.Vận hành áp suất chân không:6.0 * 10-4Bố~9.0 * 10-4Bố ơi;
Áp suất chân không cơ bản:3.0 * 10-4Bố
3. Bơm Thời gian ngừng hoạt động: từ 1 atm đến2.0 × 10-3 Bố≤25phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và buồng trống)
4.Nguồn lắng đọng: bay hơi nhiệt nấu nung bằng thạch anh
5. Mô hình hoạt động:Tự động hoàn toànmatically/ Bán tự động / Thủ công
6. Sưởi ấm: từ nhiệt độ phòng lên đến tối đa.1000 ℃,
Thời gian làm nóng chất nền thủy tinh TFT: từ 0 ~ 250 ℃ <40 phút;
7. Tỷ lệ lắng đọng CsI: 0 ～ 100nm / giây
8. CsI: Độ dày màng T1: lên đến 600μm
lKết cấu
Máy sơn chân không có chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng chân không
1.1Kích thước: Đường kính bên trong900mm
Chiều cao bên trong: 1300mm
1,2Vật chất: Buồng chân không SUS304
Cửa và mặt bích SUS304
Kết cấu phòng tăng cường: Thép nhẹ SS41, được sơn xử lý bề mặt hoàn thiện.
Khung buồng SS41 bằng thép nhẹ được sơn xử lý bề mặt hoàn thiện.
1.3 Sh bay hơiield: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: trênCửa buồng
1.5 Van thông gió buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)
1.6 Cửa: Vật liệu SUS304
2. Thôghing Hệ thống bơm chân không:
Bơm chân không cánh quay dầu + bơm chân không (Đức Pfeiffer)
3.Hệ thống bơm chân không cao:
Bơm phân tử treo từ tính (Đức Pfeiffer)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện- Màn hình cảm ứng PLC +
4,1 triệumạch ain: Công tắc ngắt cầu chì, điện từcông tắc điện, C / T trong loại loạt
4.2 Năng lượng bay hơi
4.3 Hệ thống kiểm soát bay hơi
4.4Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng +PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, tự động tắt máy, tự động di tản, sơn phủ tự động
4.5 Đo lường Hệ thống
Áp lực chân không : Máy đo chân không: Pirani + Máy đo Penning + Máy đo chân không toàn dải
Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt điện
Bộ điều khiển độ dày màng: Thương hiệu Inficon, SQC-310
4.6 Hệ thống cảnh báo: Áp suất khí nén , Dòng nước làm mát, Mis-hoạt động
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5.Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn lắng đọng: chén thạch anh
5.2 Vật liệu lắng đọng: CsI, Carbon
6. Hệ thống con
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Đường ống dẫn nước và hệ thống van chuyển đổi
Môi trường làm việc
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ nước vào: 20 ~ 25 ℃, 200 lít / phút,
Áp suất nước vào: 2 ~ 3 kg / cm2,
Nguồn: 3 pha 380V 50Hz (60Hz), 65kVA, tiêu thụ điện năng trung bình: 30KW
Khu vực lắp đặt: (L * W * H) 3000 *200 *2300mm
Thoát ra: Thông gió cho máy bơm cơ khíS
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
