Máy tráng phủ Magnetron màng mỏng đồng / Bộ phận tráng phim dẫn điện nylon dệt Cu
Đồng dệt nylonMáy hút chân không phún xạ Magnetron
1) Khả năng kiểm soát độ dày màng và khả năng lặp lại tốt, có thể là một hệ thống đáng tin cậy về độ dày được mạ trước của màng và phún xạ trong bề mặt lớn hơn của màng đồng nhất;
2) Độ bám dính của màng và chất nền rất tốt.Một số năng lượng cao của các nguyên tử phún xạ để tạo ra các mức độ khác nhau của hiện tượng tiêm, giả lớp khuếch tán được hình thành trên lớp cơ chất của các nguyên tử rải rác và các nguyên tử cơ chất hợp nhất với nhau;
3) Chuẩn bị vật liệu đặc biệt của phim, bạn có thể sử dụng các vật liệu khác nhau và màng lai phún xạ, màng phức hợp, cũng có thể được rải vào màng vàng giả TiN.
Đồng dệt nylonThông số kỹ thuật của máy hút chân không phún xạ Magnetron
| Máy tráng phủ Magnetron | ||||||
| Màn biểu diễn | RTSP-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP-1600 |
| Kích thước của buồng phủ | 700 * H900mm | 900 * H1100mm | 1000 * H1200mm | 1250 * H1350mm | 1400 * H1600mm | 1600 * H1800mm |
| Loại cung cấp điện | Bộ nguồn dây tóc, bộ nguồn phân cực xung, bộ nguồn DC magnetron, bộ nguồn magnetron tần số trung gian, bộ nguồn magnetron tần số vô tuyến, nguồn ion hóa tuyến tính | |||||
| Cấu trúc của buồng chân không | Cửa đôi dọc, cấu trúc cửa trước thẳng đứng, hệ thống thoát khí phía sau | |||||
| Vật liệu của buồng chân không | Khoang bằng thép không gỉ chất lượng cao | |||||
| Hạn chế chân không | 6,0 * 10-4Pa | |||||
| Thời gian bơm xuống (không tải) | Bơm bầu khí quyển lên 8.0 * 10-3> Pa ≤15 phút | |||||
| Hệ thống thu nhận chân không | Bơm khuếch tán hoặc bơm phân tử + Bơm rễ + Bơm cơ + bơm cánh quay (mô hình cụ thể có thể được cấu hình theo yêu cầu của khách hàng) | |||||
| Chế độ phủ | Lớp phủ phún xạ Magnetron | |||||
| Loại phim | Phim kim loại, phim phản ứng, phim phức hợp, phim nhiều lớp và phim bán dẫn | |||||
| Loại mục tiêu Magnetron | Mục tiêu nam châm hình chữ nhật, mục tiêu nam châm hình trụ và mục tiêu nam châm kép | |||||
| Magnetron cung cấp năng lượng và số lượng mục tiêu của magnetron | Lựa chọn theo quy trình phủ khác nhau và yêu cầu của khách hàng | |||||
| Cung cấp điện thiên vị | 10KW / 1 chiếc | 20KW / 1 chiếc | 20KW / 1 chiếc | 30KW / 1 chiếc | 40KW / 1 chiếc | 50KW / 1 đơn vị |
| Chế độ quay của bàn xoay phôi | Cuộc cách mạng hành tinh và tự động chuyển động, điều chỉnh tốc độ tần số thay đổi (có thể điều khiển và điều chỉnh) | |||||
| Xử lý khí | Hệ thống điều khiển và hiển thị dòng khí quy trình 3 đường hoặc 4 đường, hệ thống khí tự động chọn lọc | |||||
| Chế độ làm mát | Chế độ làm mát tuần hoàn nước, tháp giải nhiệt nước hoặc máy làm mát nước công nghiệp hoặc hệ thống làm mát sâu.(Do khách hàng cung cấp) | |||||
| Chế độ điều khiển | Chế độ tích hợp thủ công / tự động, hoạt động trên màn hình cảm ứng, điều khiển PLC hoặc máy tính | |||||
| Tổng công suất | 30KW | 35KW | 40KW | 50KW | 65KW | 80KW |
| Báo động và bảo vệ | Báo động tình trạng thiếu nước, quá dòng và quá áp, hở mạch và các tình trạng bất thường khác của máy bơm, mục tiêu, v.v. và thực hiện các biện pháp bảo vệ liên quan và chức năng khóa điện | |||||
| Khu thiết bị | W2m * L3m | W2,5m * L3,5m | W3m * L4m | W4m * L5m | W4,5m * L6m | W5m * L7m |
| Các thông số kỹ thuật khác | Áp suất nước ≥0,2MPa, Nhiệt độ nước ≤25 ° C, Áp suất không khí: 0,5-0,8MPa | |||||
| Nhận xét | Cấu hình cụ thể của thiết bị phủ có thể được thiết kế theo yêu cầu quy trình của sản phẩm phủ | |||||
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
