Máy phủ chân không PVD / Máy tráng phủ Magnetron, máy phủ pvd luyện kim
Máy này phù hợp với hệ thống sơn chân không sản xuất công nghiệp . Nó trang bị nguồn bay hơi ion hồ quang kích thước lớn và có thể loại bỏ màng kim loại cứng hiệu suất cao bằng công nghệ bay hơi hồ quang, như TiN, TiCN, AlTiN và tất cả các loại phim đặc biệt khác theo yêu cầu của khách hàng.
Lớp phủ DLC (carbon giống kim cương) là sự kết hợp giữa kim cương (SP3) và than chì (SP2). Các tính chất vật lý và hóa học của DLC là trung gian so với kim cương và than chì
Thông số kỹ thuật
MÔ HÌNH | RTAS1000 | |||||||
CÔNG NGHỆ | mạ hồ quang + phún xạ từ trường + nguồn ion | |||||||
VẬT LIỆU CHAMBER | Thép không gỉ (S304) | |||||||
KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ1000 * 1000mm (H) | |||||||
LOẠI CHAMBER | Buồng bát diện đều, 2 cửa | |||||||
HỆ THỐNG ROTATION RACK & JIG | 6 (8) vệ tinh, Max. trọng lượng: 400kgs | |||||||
CUNG CẤP ĐIỆN | Số lượng của phún xạ: Nguồn cung cấp năng lượng 2 * 24 kw: Nguồn cung cấp điện 1 * 24W cho tùy chọn Nguồn ion Nguồn 2 bộ, nguồn điện AE cho tùy chọn | |||||||
VẬT LIỆU TIỀN GỬI | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
NGUỒN GỬI | 2 cặp (4 miếng) Cathodes phún xạ + 6 arcs Diện tích lớp phủ: Dia800mm * H550mm; | |||||||
ĐIỀU KHIỂN | PLC (Bộ điều khiển logic lập trình) + Màn hình cảm ứng (thủ công + tự động + mô hình hoạt động bán tự động) | |||||||
HỆ THỐNG BƠM | Bơm cánh gạt quay: SV300B - 1 bộ (Leybold) | |||||||
Rễ bơm: WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | ||||||||
Giữ bơm: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Bơm phân tử rôto từ tính: MAG2200 - 2 bộ (Leybold) | ||||||||
ĐIỀU KHIỂN HOA HỒNG | 3 kênh, Made in America (nhãn hiệu MKS) | |||||||
VACUUM GAUGE | Model: ZDF-X-LE, Sản xuất tại Trung Quốc | |||||||
Nguồn ion tuyến tính | 2 miếng Tiền xử lý, làm sạch huyết tương + lắng đọng hỗ trợ | |||||||
HỆ THỐNG AN TOÀN | Vô số khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị | |||||||
SƯỞI | Máy sưởi: 20KW. Tối đa nhiệt độ: 400oC | |||||||
KẾT HỢP | Máy làm lạnh công nghiệp (nước lạnh) | |||||||
SỨC MẠNH TỐI ĐA. | 100KW (xấp xỉ) | |||||||
TIÊU THỤ ĐIỆN TỬ | 45 kw (xấp xỉ) | |||||||
TRỌNG LƯỢNG THÔ | T (xấp xỉ) | |||||||
IN ẤN | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
ĐIỆN ĐIỆN | AC 380V / 3 pha / 50HZ |