Phòng thí nghiệm Thin Film Magnetron Sputtering Coating Máy / Portable Thin Film Sputtering Coating Hệ thống
Royal Technology đã thiết kế và cung cấp nhiều hệ thống phủ chân không siêu cao để giảng dạy đại học và nghiên cứu khoa học và phát triển, để nghiên cứu nhiều bộ phim khác nhau, tạo ra những màng mỏng NANO sáng tạo hơn được áp dụng cho các ngành công nghiệp thương mại của chúng tôi. Khách hàng của chúng tôi như: Đại học Thượng Hải Trung Quốc, Đại học Machanster, Đại học Khoa học Bắc Kinh, Chất bán dẫn, Pin mặt trời, Tế bào nhiên liệu, Tổ chức khoa học nghiên cứu vũ trụ và bộ phận vật lý năng lượng cao, v.v.
Phòng thí nghiệm Thin Film Magnetron phún xạ máy: DC, MF, RF phún xạ cathodes cho R & D mục đích có thể nhận được đơn lớp, phim điện môi, hợp chất phim, chất bán dẫn, nhiều lớp, composite phim, và phim điện môi vv
Phòng thí nghiệm Thin Film Magnetron Sputtering Coating Machine Hiệu suất kỹ thuật:
1 Áp lực chân không cuối cùng: tốt hơn 5.0 × 10-6 Torr.
2. Áp suất chân không vận hành: 1,0 × 10-4 Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu…
5. mô hình hoạt động: đầy đủ tự động / bán tự động / bằng tay
Phòng thí nghiệm Thin Film Magnetron Sputtering Coating Cấu trúc máy
1. buồng chân không
2. Hệ thống bơm chân không Rouhging (gói bơm lùi)
3. Hệ thống bơm chân không cao (bơm khuếch tán)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở phụ trợ (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng
Phòng thí nghiệm Thin Film Magnetron Sputtering Coating System cũng có thể kết hợp với cathod arc và các nguồn bay hơi cho nhiều ứng dụng nghiên cứu hơn.
