PVD là gì?
PVD (tên viết tắt của lắng đọng hơi vật lý) là một quá trình phủ chân không để tạo ra một màng mỏng dựa trên kim loại phù hợp có thể được lắng đọng đều trên các bề mặt dẫn điện. Sử dụng phương pháp bay hơi ion Arc và phương pháp phún xạ MF từ, một lớp phủ duy nhất cung cấp độ bao phủ rộng rãi mà không làm thay đổi cấu hình bề mặt. Kỹ thuật này được sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp điện tử bao gồm phương tiện quang học, quang học và các thành phần bán dẫn.
Thuộc tính màng mỏng PVD
Chốt chính xác Máy ép màng mỏng PVD được áp dụng với các ốc vít và phụ kiện như ốc vít, bu lông, máy nghiền, phụ kiện, mũ được sử dụng trong mỹ phẩm, sản phẩm điện tử, máy móc cơ khí, ngành công nghiệp ô tô đang sử dụng rộng rãi công nghệ PVD để có được nhiều màu sắc Panton, phạm vi vàng, đen, xanh, xám, bạc, cầu vồng, đồng, vô địch, v.v.
Chốt chính xác PVD Nguồn màng mỏng Máy lắng đọng Nguồn
Các nguồn Arc Arc được tích hợp để bay hơi mục tiêu kim loại rắn;
2 cặp catốt phún xạ không dao động MF để lắng đọng lớp màng mỏng than chì;
Cung cấp năng lượng cho máy bay ném bom ion để tạo thành khu vực plasma để xử lý trước;
Đơn vị nguồn ion tuyến tính Anode (tùy chọn) xử lý PACVD và PECVD;
Cryopump (Polycold) cho ngưng tụ phân tử nước (cho tùy chọn)
Chốt chính xác Cấu trúc máy màng mỏng PVD
1. Buồng hút chân không
2. Hệ thống bơm chân không rầm rộ (Gói bơm dự phòng)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở vật chất (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng: cực âm phún xạ MF, cấp nguồn MF, nguồn ion cung cấp năng lượng thiên vị cho tùy chọn
Chốt chính xác hiệu suất mạ mỏng PVD
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 5.0 × 10 - 6 Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, v.v.
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
Chốt chính xác Thông số kỹ thuật Machin màng mạ mỏng
| MÔ HÌNH | RTAC1250-SPMF | ||||||
| CÔNG NGHỆ | MF Magnetron phún xạ + mạ ion | ||||||
| VẬT CHẤT | Thép không gỉ (S304) | ||||||
| KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| LOẠI CHAMBER | Xi lanh, dọc, 1 cửa | ||||||
| HỆ THỐNG TẮT | Thiết kế độc quyền cho lắng đọng màng đen mỏng | ||||||
| VẬT LIỆU TIỀN GỬI | Nhôm, Bạc, Đồng, Chrome, Thép không gỉ, Niken | ||||||
| NGUỒN GỬI | 2 bộ Mục tiêu phún xạ hình trụ MF + 8 Nguồn hồ quang Cathodic + Nguồn ion cho tùy chọn | ||||||
| KHÍ GA | MFC- 4 cách, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| ĐIỀU KHIỂN | PLC (Bộ điều khiển logic lập trình) + | ||||||
| HỆ THỐNG BƠM | SV300B - 1 bộ (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 bộ (Leybold) | |||||||
| Bơm phân tử Turbo: 2 * F-400/3500 | |||||||
| ĐIỀU TRỊ | Cung cấp năng lượng thiên vị: 1 * 36 KW | ||||||
| HỆ THỐNG AN TOÀN | Vô số khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành | ||||||
| KẾT HỢP | Nước lạnh | ||||||
| ĐIỆN ĐIỆN | 480V / 3 pha / 60HZ (tuân thủ Hoa Kỳ) | ||||||
| 460V / 3 pha / 50HZ (tuân thủ châu Á) | |||||||
| 380V / 3 pha / 50HZ (tuân thủ EU-CE) | |||||||
| BÓNG ĐÁ | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| TỔNG KHỐI LƯỢNG | 7,0 T | ||||||
| BÓNG ĐÁ | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| THỜI GIAN CHU KỲ | 30 ~ 40 phút (tùy thuộc vào vật liệu nền, hình học cơ chất và điều kiện môi trường) | ||||||
| SỨC MẠNH TỐI ĐA.. | 155 kw | ||||||
| ĐIỆN AVERAGE TIÊU THỤ (APPROX.) | 75 kw |
Kích thước máy tùy chỉnh cũng có sẵn dựa trên các sản phẩm theo yêu cầu cụ thể.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.
