Hệ thống lắng đọng phún xạ magnetron không cân bằng trường kín, Mạ ion phún xạ Magnetron không cân bằng
Các quá trình magnetron trường không cân bằng và trường khép kín có tất cả các ưu điểm của magnetron phẳng.Ưu điểm và nhược điểm bổ sung là:
Các thuộc tính phún xạ magnetron trường không cân bằng và trường kín có thể đạt được bằng quá trình phún xạ magnetron.Khi thành công với các đặc tính quang học, chống ăn mòn và màng mỏng được cải thiện như công nghệ này, những cải tiến trong công nghệ magnetron mới chỉ bắt đầu.Tiếp theo Blog, chúng tôi chuyển sang các quy trình magnetron quay và hình trụ và kết quả là các ứng dụng màng mỏng.
--- Trên Artical từPETE R MARTIN
Công nghệ hoàng gia đã phát triển cực âm phún xạ năng suất cao và sử dụng mục tiêu cao, đặc biệt đối với phún xạ kim loại hiếm và đắt tiền: lắng đọng màng kim loại bạc Au Gold, Ta Tantali, Ag.Hệ thống lắng đọng màng có độ đồng nhất cao đã và đang phục vụ cho một số ngành công nghiệp như các bộ phận Điện tử, các bộ phận dụng cụ y tế đòi hỏi độ đồng nhất của màng cao, lắng đọng nhiều lớp.
Máy RTSP1000 là loại máy tiêu chuẩn hóa được phát triển bởi công nghệ Royal.Ứng dụng rộng rãi với các công cụ cắt / tạo hình, khuôn mẫu, dụng cụ y tế, linh kiện điện tử, công nghiệp ô tô.
| Cấu hình chính và thông số kỹ thuật RTSP1000 | ||||||||
| MÔ HÌNH | RTSP1000 | |||||||
| CÔNG NGHỆ | Phún xạ châm từ MF + làm sạch plasma nguồn ion | |||||||
| VẬT LIỆU CHAMBER | Thép không gỉ (S304) | |||||||
| KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ1000 * 800mm (H) | |||||||
| LOẠI CHAMBER | Hình dạng D | |||||||
| HỆ THỐNG RACK & JIG XOAY | 6 vệ tinh Max.trọng lượng: 500kgs | |||||||
| CUNG CẤP ĐIỆN |
Số lượng.của phún xạ: 2 * 24 KW Độ lệch của nguồn cung cấp: Nguồn ion 1 * 20W Nguồn cung cấp điện 1 * 5KW |
|||||||
| VẬT LIỆU THÀNH PHẦN | Ti / Cr / TiAl / Ta / Cu / Au / Carbon, v.v. | |||||||
| NGUỒN THÀNH PHẦN | 2 cặp (4 cái) Cathodes phẳng + 1 Nguồn ion tuyến tính Khu vực đồng nhất: ± 10 ~ 15% |
|||||||
| KIỂM SOÁT | PLC (Bộ điều khiển logic có thể lập trình) + Màn hình cảm ứng (mô hình hoạt động thủ công + tự động + bán tự động) | |||||||
| HỆ THỐNG BƠM | Bơm cánh gạt: SV300B - 1 bộ (Leybold) | |||||||
| Máy bơm rễ: WAU1001- 1 bộ (Leybold) | ||||||||
| Bơm giữ: D60C- 1 bộ (Leybold) | ||||||||
| Bơm phân tử treo từ tính - 1 bộ (Leybold) | ||||||||
| BỘ ĐIỀU KHIỂN LƯU LƯỢNG KHÍ MASS | 4 kênh, Sản xuất tại Trung Quốc, mô hình kỹ thuật số Seven Star (CS series,) | |||||||
| MÁY ĐO CHÂN KHÔNG | Model: ZDF-X-LE, Sản xuất tại Trung Quốc: ZDF-X-LE | |||||||
| NGUỒN ION TUYẾN TÍNH | 1 mảnh Xử lý trước, làm sạch huyết tương + lắng đọng hỗ trợ | |||||||
| HỆ THỐNG AN TOÀN | Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị | |||||||
| SƯỞI | Máy sưởi: 30KW.Tối đanhiệt độ: 450 ℃ | |||||||
| LÀM MÁT | Máy làm lạnh công nghiệp (Nước lạnh) | |||||||
| SỨC MẠNH TỐI ĐA. | 100KW (Xấp xỉ) | |||||||
| TIÊU THỤ ĐIỆN NĂNG AVERAGE | 45 KW (Xấp xỉ) | |||||||
| TRỌNG LƯỢNG THÔ | T (Xấp xỉ) | |||||||
| CHÂN IN | (L * W * H) 4000 * 4000 * 3200 MM | |||||||
| ĐIỆN ĐIỆN | AC 380V / 3 pha / 50HZ / 5 dòng | |||||||
Sự lắng đọng phún xạ phẳng sử dụng mục tiêu cao: xin vui lòng BẤM VÀO ĐÂY để xem video
Nguồn ion tuyến tính Làm sạch và lắng đọng hỗ trợ: vui lòng BẤM VÀO ĐÂY để xem video
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
