Máy tráng phủ tantali PVD phún xạ DC Magnetron
1 tập
MOQ
Tantalum PVD Sputtering Coating Machine DC Magnetron Sputtering
Đặc trưng Bộ sưu tập Mô tả sản phẩm Yêu cầu báo giá
Đặc trưng
Thông tin cơ bản
Nguồn gốc: Trung Quốc
Hàng hiệu: ROYAL
Chứng nhận: CE
Số mô hình: RTAS
Điểm nổi bật:

vacuum coating plant

,

high vacuum coating machine

Thanh toán
chi tiết đóng gói: Tiêu chuẩn xuất khẩu, được đóng gói trong các thùng / thùng mới, phù hợp cho vận tải đường biển / đư
Thời gian giao hàng: 14 ~ 16 tuần
Khả năng cung cấp: 10 BỘ MỖI THÁNG
Thông số kỹ thuật
Công nghệ: Mạ ion hồ quang + lắng đọng phún xạ PVD
Mục tiêu: TiAl, Ta, Ni, Cr, Ti, Au, Ag, SS, Cu, Zr, Al, v.v.
Tính chất: Năng suất cao, tính đồng nhất cao, sử dụng mục tiêu cao
Đơn xin: Nhiều lớp màng lắng đọng
Thuận lợi: Quy trình vận hành thân thiện với môi trường
Địa điểm nhà máy: Thành phố Thượng Hải, Trung Quốc
Dịch vụ trên toàn thế giới: Poland - Europe; Ba Lan - Châu Âu; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India
Dịch vụ đào tạo: Vận hành máy, bảo trì, quy trình sơn Công thức, chương trình
Dịch vụ đào tạo: Vận hành máy, bảo trì, quy trình sơn Công thức, chương trình
Sự bảo đảm: Bảo hành giới hạn 1 năm miễn phí, trọn đời máy
Sự bảo đảm: Bảo hành giới hạn 1 năm miễn phí, trọn đời máy
Sự bảo đảm: Bảo hành giới hạn 1 năm miễn phí, trọn đời máy
OEM & ODM: có sẵn, chúng tôi hỗ trợ thiết kế và chế tạo theo yêu cầu riêng
OEM & ODM: có sẵn, chúng tôi hỗ trợ thiết kế và chế tạo theo yêu cầu riêng
Mô tả sản phẩm

                Máy phủ tantali PVD, Màng tantali được lắng đọng bởi DC Magnetron Sputtering, Mạ PVD Tantali

 

Tantali được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành công nghiệp điện tử và làm lớp phủ bảo vệ trong nhiều ngành công nghiệp vì khả năng chống ăn mòn tốt.

 

Màng tantali rải rác được sử dụng rộng rãi trong
1. Ngành công nghiệp vi điện tử vì các màng có thể phản ứng phụt và do đó điện trở suất và hệ số nhiệt độ của điện trở có thể được kiểm soát;

2. Dụng cụ y tế như bộ phận cấy ghép cơ thể vì đặc tính có tính tương hợp sinh học cao;

3. Sơn phủ lên các bộ phận chống ăn mòn, chẳng hạn như tấm tản nhiệt, thân van và ốc vít;

 

 

Tantali rơi vãi cũng có thể được sử dụng như một rào cản chống ăn mòn hiệu quả nếu lớp phủ liên tục, bị khuyết tật và bám dính vào chất nền nhằm mục đích bảo vệ.

 

Ưu điểm kỹ thuật RTAS1000

 

1. Plug-in Hệ thống thiết kế tích hợp để cài đặt nhanh chóng

2. PLC Siemens, CPU;với phần cứng điều khiển & vận hành PC công nghiệp

3. Có sẵn để theo dõi và chẩn đoán từ xa.
4. Linh hoạt, sẵn sàng để nâng cấp

5. Nhiều cực âm cho tốc độ lắng đọng nhanh

Máy tráng phủ tantali PVD phún xạ DC Magnetron 0

 

Nhiều lợi ích hơn từ máy:

 

Thiết kế mạnh mẽ, chất lượng ổn định, chu kỳ nhanh, thời gian chu kỳ nhanh, tốc độ lắng đọng cao

 

Cấu hình chính
MÔ HÌNH RTAS1000
CÔNG NGHỆ Phún xạ magnetron DC + Mạ hồ quang catốt
VẬT LIỆU CHAMBER Thép không gỉ (S304)
KÍCH THƯỚC CHAMBER Φ1000 * 1000mm (H)
LOẠI CHAMBER Hình dạng D, buồng hình trụ
HỆ THỐNG RACK & JIG XOAY Hệ thống lái xe vệ tinh hoặc hệ thống lái xe trung tâm
CUNG CẤP ĐIỆN DC Sputtering Power Supply: 2 ~ 4 set Bias Nguồn cung cấp: 1 set Arc Nguồn cung cấp: 11 bộ
VẬT LIỆU THÀNH PHẦN Ti / Cr / TiAl, Ta, Au, Ag, Cu, v.v.
NGUỒN THÀNH PHẦN

Cathode phún xạ phẳng + cathodes cung tròn

Nhận xét: bộ phun DC hình trụ có sẵn

KIỂM SOÁT PLC (Bộ điều khiển logic có thể lập trình) + Màn hình cảm ứng (mô hình hoạt động thủ công + tự động + bán tự động)
HỆ THỐNG BƠM Bơm cánh gạt: SV300B - 1 bộ (Leybold)
Máy bơm rễ: WAU1001 - 1 bộ (Leybold)
Bơm giữ: D60C - 1 bộ (Leybold)
Bơm phân tử treo từ tính: MAG2200 - 2 sest (Leybold)
BỘ ĐIỀU KHIỂN LƯU LƯỢNG KHÍ MASS 4 kênh, Sản xuất tại Trung Quốc, mô hình kỹ thuật số Seven Star (CS series,) (Ar, N2, O2, C2H2)
MÁY ĐO CHÂN KHÔNG Mô hình: ZDF-X-LE, Sản xuất tại Trung Quốc
HỆ THỐNG AN TOÀN Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị
SƯỞI Máy sưởi: 20KW.Tối đanhiệt độ: 450 ℃
LÀM MÁT Máy làm lạnh công nghiệp (Nước lạnh)
SỨC MẠNH TỐI ĐA. 100KW (Xấp xỉ)
TIÊU THỤ ĐIỆN NĂNG AVERAGE 45 KW (Xấp xỉ)
TRỌNG LƯỢNG THÔ T (Xấp xỉ)
CHÂN IN (L * W * H) 4000 * 4000 * 3600 MM
ĐIỆN ĐIỆN AC 380V / 3 pha / 50HZ / 5 dòng

 

 

 

Cực âm phún xạ hình trụ                                 Cực âm phún xạ phẳng

 

Máy tráng phủ tantali PVD phún xạ DC Magnetron 1     Máy tráng phủ tantali PVD phún xạ DC Magnetron 2

 

 

 

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.

 

Tải xuống tài liệu, vui lòng bấm vào đây:Hệ thống lắng đọng phún xạ Magnetron.pdf
                                                                          Ứng dụng hệ thống lắng đọng phún xạ Magnetron ...

 

Hãy liên lạc với chúng tôi
Người liên hệ : ZHOU XIN
Fax : 86-21-67740022
Ký tự còn lại(20/3000)