Thuộc tính máy Multi950:
Dấu chân nhỏ gọn,
Thiết kế mô-đun tiêu chuẩn,
Linh hoạt,
Đáng tin cậy
Phòng bát,
Cấu trúc 2 cửa để tiếp cận tốt,
Quy trình PVD + PECVD.
Đặc điểm thiết kế:
1. Tính linh hoạt: Các cực âm hồ quang và phún xạ, mặt bích lắp nguồn ion được chuẩn hóa để trao đổi linh hoạt;
2. Tính linh hoạt: có thể ký gửi nhiều loại kim loại cơ bản và hợp kim; lớp phủ quang học, lớp phủ cứng, lớp phủ mềm, màng ghép và màng bôi trơn rắn trên nền vật liệu kim loại và phi kim loại.
3. Thiết kế thẳng về phía trước: Cấu trúc 2 cửa, mở trước & sau để bảo trì dễ dàng.
Máy Multi950 là một hệ thống lắng đọng chân không nhiều chức năng tùy chỉnh cho R & D. Với cuộc thảo luận nửa năm với nhóm của Đại học Thượng Hải do Giáo sư Chen dẫn đầu, cuối cùng chúng tôi đã xác nhận thiết kế và cấu hình để đáp ứng các ứng dụng R & D của họ. Hệ thống này có thể ký gửi màng DLC trong suốt với quy trình PECVD, lớp phủ cứng trên các công cụ và phim quang với cực âm phún xạ. Dựa trên khái niệm thiết kế máy thí điểm này, chúng tôi đã phát triển 3 hệ thống sơn khác sau đó:
1. Lớp phủ lưỡng cực cho xe điện chạy bằng pin nhiên liệu- FCEV1213,
2. Đồng mạ trực tiếp bằng gốm- DPC1215,
3. Hệ thống phún xạ linh hoạt- RTSP1215.
Cả 4 model máy này đều có buồng Octal, hiệu suất linh hoạt và đáng tin cậy được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng khác nhau. Nó đáp ứng các quá trình phủ đòi hỏi nhiều lớp kim loại khác nhau: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS và nhiều kim loại không từ tính khác;
cộng với đơn vị nguồn Ion, tăng cường hiệu quả độ bám dính của màng trên các vật liệu nền khác nhau với hiệu suất khắc plasma và quá trình PECVD để lắng đọng một số lớp dựa trên carbon.
Multi950 là cột mốc của các hệ thống sơn thiết kế tiên tiến cho Royal Tech. Tại đây, chúng tôi biết ơn các sinh viên Đại học Thượng Hải và đặc biệt là Process Yigang Chen, sự cống hiến sáng tạo và vị tha của anh ấy là những giá trị không giới hạn và truyền cảm hứng cho đội ngũ của chúng tôi.
Vào năm 2018, chúng tôi đã có một dự án hợp tác khác với Pressor Chen, sự lắng đọng vật chất của C-60 bởi
Phương pháp bay hơi nhiệt cảm ứng. Chúng tôi chân thành cảm ơn sự hướng dẫn và chỉ dẫn của thầy Yimou Yang và giáo sư Chen về mọi dự án sáng tạo.
Multi950 - Thông số kỹ thuật
| Sự miêu tả | Đa-950 |
Buồng lắng (mm) Chiều rộng x Độ sâu x Chiều cao | 1050 x 950 x 1350 |
Nguồn lắng đọng | 1 cặp catốt phún xạ MF |
| 1 cặp PECVD | |
| 8 bộ catốt hồ quang | |
| Nguồn ion tuyến tính | 1 bộ |
| Vùng đồng nhất plasma (mm) | φ650 x H750 |
| Băng chuyền | 6 x φ300 |
Quyền hạn (KW) | Xu hướng: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x36 | |
| Vòng cung: 8 x 5 | |
| Nguồn ion: 1 x 5 | |
| Hệ thống kiểm soát khí | MFC: 4 + 1 |
| Hệ thống nhiệt | 500oC, với điều khiển PID nhiệt |
| Van cổng chân không cao | 2 |
| Bơm phân tử | 2 x 2000L / S |
| Rễ bơm | 1 x 300L / S |
| Bơm quay Vanes | 1 x 90 m³ / h + 1 x 48 m³ / h |
| Dấu chân (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Tổng công suất (KW) | 150 |
Các nhóm dịch vụ và kỹ thuật của Royal Tech cung cấp hỗ trợ khách hàng tại chỗ, liên hệ với chúng tôi để biết các ứng dụng của bạn!
