Magnetron Sputtering được sử dụng rộng rãi để lắng đọng các kim loại chịu lửa như tantali, titan, vonfram, niobi, đòi hỏi nhiệt độ lắng đọng rất cao, và kim loại quý: Vàng và Bạc và cũng được sử dụng để lắng đọng các kim loại có điểm nóng chảy thấp hơn như đồng, nhôm, niken, crom, v.v.
Tantali được sử dụng nhiều nhất trong điện tử ngành công nghiệp như một lớp phủ bảo vệ vì khả năng chống xói mòn tốt.
Các ứng dụng của màng mỏng Tantali rải rác:
1. Ngành công nghiệp vi điện tử vì các màng có thể phản ứng phụt và do đó điện trở suất và hệ số nhiệt độ của điện trở có thể được kiểm soát;
Ưu điểm kỹ thuật
Hệ thống lắng đọng phún xạ Tantali tiêu chuẩn hóa của Royal Technology: RTSP1000
Cấu hình chính | |
MÔ HÌNH | RTSP1000 |
CÔNG NGHỆ |
Phún xạ magnetron DC xung Mạ hồ quang catốt (đối với tùy chọn, được xác định bằng quy trình phủ) |
VẬT LIỆU CHAMBER | Thép không gỉ (S304) |
KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ1000 * 1600mm (H) |
LOẠI CHAMBER | Hình dạng D, buồng hình trụ |
HỆ THỐNG RACK & JIG XOAY | Hệ thống lái xe vệ tinh hoặc hệ thống lái xe trung tâm |
CUNG CẤP ĐIỆN |
Nguồn cung cấp phún xạ DC: 2 ~ 4 bộ Nguồn ion: 1 bộ |
VẬT LIỆU THÀNH PHẦN | Ta, Ti / Cr / TiAl, Au, Ag, Cu, v.v. |
NGUỒN THÀNH PHẦN | Cathode phún xạ phẳng + cathodes cung tròn |
KIỂM SOÁT | PLC (Bộ điều khiển logic có thể lập trình) + IPC (mô hình vận hành thủ công + tự động + bán tự động) |
HỆ THỐNG BƠM | Bơm cánh gạt: SV300B - 1 bộ (Leybold) |
Máy bơm rễ: WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |
Bơm giữ: D60C - 1 bộ (Leybold) | |
Bơm phân tử treo từ tính: MAG2200 - 2 sest (Leybold) |
|
BỘ ĐIỀU KHIỂN LƯU LƯỢNG KHÍ MASS | 2 kênh: Ar và N2 |
MÁY ĐO CHÂN KHÔNG | Inficon hoặc Leybold |
HỆ THỐNG AN TOÀN | Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị |
SƯỞI | Máy sưởi: 20KW.Tối đanhiệt độ: 450 ℃ |
LÀM MÁT | Máy làm lạnh công nghiệp (Nước lạnh) |
SỨC MẠNH TỐI ĐA. | 100KW (Xấp xỉ) |
TIÊU THỤ ĐIỆN NĂNG AVERAGE | 45 KW (Xấp xỉ) |
TRỌNG LƯỢNG THÔ | T (Xấp xỉ) |
CHÂN IN | (L * W * H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
NĂNG LƯỢNG ĐIỆN |
AC 380V / 3 pha / 50HZ / 5 dòng |
Trang web:
Thời gian xây dựng: 2018
Vị trí: Trung Quốc
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm các ứng dụng và thông số kỹ thuật.