DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali
1 bộ
MOQ
negotiable
giá bán
DLC-C Ta Carbon Tantalum Sputtering Deposition System
Đặc trưng Bộ sưu tập Mô tả sản phẩm Yêu cầu báo giá
Đặc trưng
Thông tin cơ bản
Nguồn gốc: Sản xuất tại trung quốc
Hàng hiệu: ROYAL
Chứng nhận: CE
Số mô hình: RTSP
Điểm nổi bật:

Hệ thống lắng đọng phún xạ tantali

,

Hệ thống lắng đọng phún xạ chống ăn mòn

,

Hệ thống lắng đọng phún xạ xung DC

Thanh toán
chi tiết đóng gói: Tiêu chuẩn xuất khẩu, được đóng trong thùng / thùng mới, thích hợp cho vận chuyển đường dài / đường
Thời gian giao hàng: 8 đến 12 tuần
Điều khoản thanh toán: L / C, T / T
Khả năng cung cấp: 10 bộ mỗi tháng
Thông số kỹ thuật
Tên: Máy lắng đọng phún xạ PVD
Lớp phủ: Tantali, vàng, bạc, v.v.
Công nghệ: Phún xạ DC xung
Đơn xin: Ngành công nghiệp vi điện tử, Dụng cụ y tế, Lớp phủ trên các bộ phận chống ăn mòn ,,
Tính chất phim Ta: Tantali được sử dụng nhiều nhất trong ngành công nghiệp điện tử như một lớp phủ bảo vệ vì khả năng c
Địa điểm nhà máy: Thành phố Thượng Hải, Trung Quốc
Địa điểm nhà máy: Thành phố Thượng Hải, Trung Quốc
Dịch vụ trên toàn thế giới: Poland - Europe; Ba Lan - Châu Âu; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India
Dịch vụ đào tạo: Vận hành máy, bảo trì, quy trình sơn Công thức, chương trình
Sự bảo đảm: Bảo hành giới hạn 1 năm miễn phí, trọn đời máy
OEM & ODM: có sẵn, chúng tôi hỗ trợ thiết kế và chế tạo theo yêu cầu riêng
OEM & ODM: có sẵn, chúng tôi hỗ trợ thiết kế và chế tạo theo yêu cầu riêng
OEM & ODM: có sẵn, chúng tôi hỗ trợ thiết kế và chế tạo theo yêu cầu riêng
Mô tả sản phẩm

Magnetron Sputtering được sử dụng rộng rãi để lắng đọng các kim loại chịu lửa như tantali, titan, vonfram, niobi, đòi hỏi nhiệt độ lắng đọng rất cao, và kim loại quý: Vàng và Bạc và cũng được sử dụng để lắng đọng các kim loại có điểm nóng chảy thấp hơn như đồng, nhôm, niken, crom, v.v.

Tantali được sử dụng nhiều nhất trong điện tử ngành công nghiệp như một lớp phủ bảo vệ vì khả năng chống xói mòn tốt.

Các ứng dụng của màng mỏng Tantali rải rác:
1. Ngành công nghiệp vi điện tử vì các màng có thể phản ứng phụt và do đó điện trở suất và hệ số nhiệt độ của điện trở có thể được kiểm soát;

  1. Dụng cụ y tế như cấy ghép cơ thể vì đặc tính tương thích sinh học cao của nó;
  2. Sơn phủ lên các bộ phận chống ăn mòn, chẳng hạn như tấm tản nhiệt, thân van và ốc vít;
  3. Tantali rơi vãi cũng có thể được sử dụng như một rào cản chống ăn mòn hiệu quả nếu lớp phủ liên tục, bị đào thải và bám chặt vào chất nền nhằm mục đích bảo vệ.

DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali 0DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali 1

 

Ưu điểm kỹ thuật

  1. Một xe đẩy tiêu chuẩn được áp dụng cho phép tải / dỡ vật liệu nền và các chi tiết gia công vào / ra khỏi khoang lắng đọng một cách dễ dàng và an toàn
  2. Hệ thống được khóa an toàn để ngăn chặn hoạt động không chính xác hoặc các hoạt động không an toàn
  3. Các bộ gia nhiệt nền được cung cấp được gắn ở trung tâm buồng, cặp nhiệt điện được điều khiển PID cho độ chính xác cao, để tăng cường độ bám dính của màng ngưng tụ
  4. Cấu hình máy bơm chân không mạnh mẽ với Máy bơm phân tử treo từ tính thông qua van cổng kết nối với buồng;được hỗ trợ bởi máy bơm rễ của Leybold và máy bơm cánh quay hai giai đoạn, máy bơm cơ khí.
  5. Nguồn plasma ion hóa năng lượng cao được áp dụng với hệ thống này để đảm bảo tính đồng nhất và mật độ.


    DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali 2DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali 3

 

Hệ thống lắng đọng phún xạ Tantali tiêu chuẩn hóa của Royal Technology: RTSP1000

Cấu hình chính
MÔ HÌNH RTSP1000
CÔNG NGHỆ

Phún xạ magnetron DC xung

Mạ hồ quang catốt (đối với tùy chọn, được xác định bằng quy trình phủ)

VẬT LIỆU CHAMBER Thép không gỉ (S304)
KÍCH THƯỚC CHAMBER Φ1000 * 1600mm (H)
LOẠI CHAMBER Hình dạng D, buồng hình trụ
HỆ THỐNG RACK & JIG XOAY Hệ thống lái xe vệ tinh hoặc hệ thống lái xe trung tâm
CUNG CẤP ĐIỆN

Nguồn cung cấp phún xạ DC: 2 ~ 4 bộ
Bias Nguồn cung cấp: 1 bộ

Nguồn ion: 1 bộ

VẬT LIỆU THÀNH PHẦN Ta, Ti / Cr / TiAl, Au, Ag, Cu, v.v.
NGUỒN THÀNH PHẦN Cathode phún xạ phẳng + cathodes cung tròn
KIỂM SOÁT PLC (Bộ điều khiển logic có thể lập trình) + IPC
(mô hình vận hành thủ công + tự động + bán tự động)
HỆ THỐNG BƠM Bơm cánh gạt: SV300B - 1 bộ (Leybold)
Máy bơm rễ: WAU1001 - 1 bộ (Leybold)
Bơm giữ: D60C - 1 bộ (Leybold)
Bơm phân tử treo từ tính:
MAG2200 - 2 sest (Leybold)
BỘ ĐIỀU KHIỂN LƯU LƯỢNG KHÍ MASS 2 kênh: Ar và N2
MÁY ĐO CHÂN KHÔNG Inficon hoặc Leybold
HỆ THỐNG AN TOÀN Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị
SƯỞI Máy sưởi: 20KW.Tối đanhiệt độ: 450 ℃
LÀM MÁT Máy làm lạnh công nghiệp (Nước lạnh)
SỨC MẠNH TỐI ĐA. 100KW (Xấp xỉ)
TIÊU THỤ ĐIỆN NĂNG AVERAGE 45 KW (Xấp xỉ)
TRỌNG LƯỢNG THÔ T (Xấp xỉ)
CHÂN IN (L * W * H) 4000 * 4000 * 3600 MM
NĂNG LƯỢNG ĐIỆN

AC 380V / 3 pha / 50HZ / 5 dòng

 

Trang web:

 

Thời gian xây dựng: 2018

Vị trí: Trung Quốc

DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali 4

 

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm các ứng dụng và thông số kỹ thuật.

Hãy liên lạc với chúng tôi
Fax : 86-21-67740022
Ký tự còn lại(20/3000)