Máy phủ phim ITO, Máy phủ phim ITO Loại bồn tắm Máy tráng phún xạ Magnetron / Máy lắng ITO thủy tinh
Máy phủ phim ITOCác ứng dụng tiêu chuẩn: PET, thủy tinh, để tạo ra các lớp phủ ITO.
Thời gian chế tạo máy: 2012, Trung Quốc.
Ứng dụng: Phim AR, Phim ITO.
Các mảnh làm việc:
Kích thước: 300mm * 100mm
Độ dày của PET: 0,175mm +/- 0,05mm
* Độ dày của phim ITO: 185nm +/- 5nm
Tấm kháng: 6 ~ 8ohm / sq
Máy phủ phim ITOCấu hình kỹ thuật:
1) Nguồn phún xạ DC: Cu, Al, ITO
2) Nguồn phún xạ MF
3) Bơm phân tử Turbo + Nhóm bơm dự phòng
4) Từ trường cường độ cao để cải thiện chất lượng phim ITO, tỷ lệ sử dụng mục tiêu> 30%
5) Tỷ lệ sử dụng mục tiêu Cu, Al, Si> 35%
6) Tốc độ lắng đọng: 30nm m / phút ~ 40nm m / phút
7) Khu vực đồng nhất phún xạ: 350mm
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
