Tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu đặc biệt của bạn
Tiêu chuẩn hóa để giảm chi phí sản xuất của bạn
- Chúng tôi tập trung vào các ứng dụng nhiều hơn
 
Lớp phủ phim đen 2-MultiTech- DLC IPG.pdfvui lòng tải xuống tập tài liệu tại đây để biết thêm thông tin
 

MF Sputtering là gì?

So với phún xạ DC và RF, phún xạ tần số trung bình đã trở thành một kỹ thuật phún xạ màng mỏng chính để sản xuất hàng loạt lớp phủ, đặc biệt đối với sự lắng đọng màng của các lớp phủ phim điện môi và không dẫn điện trên các bề mặt như lớp phủ quang học, tấm pin mặt trời, nhiều lớp , phim vật liệu composite, v.v.
Nó đang thay thế phún xạ RF do nó hoạt động với kHz thay vì MHz để có tốc độ lắng đọng nhanh hơn nhiều và cũng có thể tránh ngộ độc Target trong quá trình lắng đọng màng mỏng hợp chất như DC.

Các mục tiêu phún xạ MF luôn tồn tại với hai bộ.Hai cực âm được sử dụng với dòng điện xoay chiều được chuyển đổi qua lại giữa chúng để làm sạch bề mặt mục tiêu với mỗi lần đảo ngược để giảm điện tích tích tụ trên các chất điện môi dẫn đến phóng điện hồ quang có thể phun ra các giọt nhỏ vào plasma và ngăn cản sự phát triển đồng đều của màng mỏng --- mà chúng tôi gọi là Đầu độc Mục tiêu.
 

Nguồn tiền gửi
Nguồn hồ quang tròn được điều khiển để bay hơi mục tiêu kim loại rắn;
2/4/6 cặp cực âm phún xạ hình trụ MF để lắng đọng lớp màng mỏng graphit;
Cung cấp năng lượng phân biệt cho máy bay ném bom ion để hình thành vùng plasma để xử lý trước;
Bộ nguồn ion tuyến tính cực dương (cho tùy chọn) xử lý PACVD và PECVD;
Cryopump (Polycold) để ngưng tụ phân tử nước (tùy chọn)

Các mô-đun khác
1. Buồng chân không
2. Hệ thống bơm chân không thô (Gói bơm dự phòng)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở phụ trợ (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng: cực âm phún xạ MF, nguồn cung cấp nguồn MF, nguồn Ion cung cấp nguồn phân cực cho tùy chọn

Hiệu suất máy sơn

1. Áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 5,0 × 10-6Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1,0 × 10-4Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1,0 × 10-4Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và buồng trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, v.v.
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công

 
Các cấu hình này là tiêu chuẩn, đối với một thị trường đang phát triển cụ thể và các lớp phủ đặc biệt mới, các cấu hình và sửa đổi tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu.
 
 
 
Vận hành chương trình cài đặt hệ thống chân không
 

 
 
 
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.