Máy lắng đọng màng che chắn EMI, Hệ thống bay hơi nhiệt đa chức năng và lớp phủ phún xạ DC
Tóm lược:
Máy ép kim loại chân không RTEP1616-SPDC được thiết kế đặc biệt để lắng đọng màng mỏng che chắn EMI, được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị viễn thông, máy tính, máy tính xách tay, điện tử tiêu dùng, thiết bị gia dụng, hàng không vũ trụ và các mặt hàng quân sự.
Khách hàng của chúng tôi là: các nhà sản xuất điện tử Sumgsung, Apple, Lenovo, Huawei.
Kích thước buồng có đường kính 1600mm và cao 1600mm có thể chứa được nhiều loại sản phẩm.
Thuộc tính phim che chắn EMI
1) Độ dày màng: 1,5 ~ 3 micron tùy thuộc vào yêu cầu.
2) Điện trở phim: (ohm) tốt hơn 0,5Ω
3) Độ dính: băng 3M810> 5B
Quy trình phủ phim che chắn EMI
4) Thép không gỉ phún xạ DC
5) Đồng lắng đọng bằng bay hơi nhiệt
6) DC Sputtering Thép không gỉ, phủ toàn bộ trên lớp phim Cu.
Tính năng của kim loại che chắn nhiễu điện từ
1) Cấu trúc 2 cửa và tốc độ bơm nhanh cho năng suất cao
2) Vận hành bảng màn hình cảm ứng thân thiện với điều khiển PLC
3) Thiết kế chương trình phần mềm thân thiện với con người để sản xuất ổn định và chất lượng cao.
4) Tỷ lệ sử dụng mục tiêu phún xạ cao đảm bảo chi phí sản xuất thấp.
5) Tính đồng nhất tốt và độ bám dính tuyệt vời
6) Khái niệm thiết kế tiên tiến để có hiệu suất tốt hơn nhằm nâng cao hiệu quả sản xuất và tỷ lệ đủ tiêu chuẩn.
7) Thiết bị nguồn ion để làm sạch plasma và xử lý hoạt động bề mặt để cải thiện độ bám dính.
Ưu điểm kim loại chân không PVD:
Sản phẩm hoàn thiện được xử lý bằng quy trình xanh thân thiện với môi trường, không gây ô nhiễm;
Hiệu quả cao và tính đồng nhất tuyệt vời.
Sản xuất số lượng lớn, chi phí thấp, giải pháp lý tưởng cho nhu cầu sản xuất hàng loạt.
Hiệu suất lớp phủ EMI
Vật liệu phủ: Vật liệu Ni, Cr, Cu, Inox.
Độ dày màng: 1,5 ~ 3 micron tùy thuộc vào yêu cầu.
Điện trở phim: (ohm) tốt hơn 0,5Ω
Độ bám dính: Băng keo 3M810> 5B
Kiểu:
Thông số kỹ thuật:
1. Áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 5,0 × 10-6 Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1,0 × 10-4 Torr
3. Thời gian bơm xuống: từ 1 atm đến 1,0 × 10-4 Torr≤5 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và buồng trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (bay hơi): Thép không gỉ, Đồng
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
Máy sơn chân không có chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng chân không
1.1 Kích thước: Đường kính bên trong 1600mm
Chiều cao bên trong: 1600mm
Chiều cao hữu ích: 1265mm
Tổng chiều cao: 1420mm
1.2 Vật liệu: Buồng chân không SUS304
Cửa và mặt bích SUS304
Kết cấu phòng tăng cường: Thép nhẹ SS41, được sơn xử lý bề mặt hoàn thiện.
Khung buồng SS41 bằng thép nhẹ được sơn xử lý bề mặt hoàn thiện.
1.3 Lá chắn phún xạ và bay hơi: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng
1.5 Van thông gió buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)
1.6 Cửa: Vật liệu SUS304 Đường kính 1600mm Chiều cao bên trong: 1600mm
1.7 Hệ thống lái xe lắng đọng: Hệ thống lái trung tâm tối đa.1400mm * 1265mm
1.8 Động cơ lái xe: 1 / 2HP
1.9 Công suất bay hơi: 1 bộ / cửa
DC Sputtering Power: 1 bộ
Kích thước Cathode phún xạ: 125 * 1400mm
2. Hệ thống bơm chân không thô
2.1 Bơm chân không cánh quay kín dầu - Leybold
a: Tốc độ bơm: 640 m³ / giờ
2.2 Máy bơm rễ - Leybold
a: Tốc độ bơm: 4400 m³ / giờ
2.3 Van chân không thô: kiểu khí nén
2.4 Đường ống chân không: vật liệu 6 ”& 8” SUS304
Van thông gió chân không 2.5: kiểu điện từ 3/8 ”
3. Hệ thống bơm chân không cao
3.1 Bơm khuếch tán dầu: RTDP-36
a.Tốc độ bơm: 40000L / S
b.Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 10-7 Torr.
c.Công suất sưởi: 3Phase, 21KW.
d.Tiêu thụ dầu: 9 lít
3.2 Bẫy lạnh: 36 ”, làm mát bằng nước chống lại dòng dầu
3.3 Van chân không cao: khí nén
3.4 Van đường trước: khí nén
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ,
C / T trong loại loạt
4.2 Công suất bay hơi
4.3 Hệ thống kiểm soát bay hơi
4.4 Công suất phún xạ, mô hình DC
4.5 Hệ thống điều khiển: PLC + Màn hình cảm ứng Tự động / Thủ công
4.6 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + Màn hình
4.7 Hệ thống đo áp suất chân không
Máy đo chân không: Leybold Center Two - 1 bộ
Máy đo toàn dải: 760 Torr ~ 10-7 Torr - 1 bộ
4.8 Hệ thống báo động:
Áp suất khí nén thấp hơn: âm thanh báo động
Lưu lượng nước làm mát thấp hơn: âm thanh báo động
Hoạt động sai: âm thanh báo động
4.9 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5. Hệ thống con
5.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
5.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống ống dẫn nước và van chuyển đổi
5.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Cryopump - 1 bộ
Mô hình: MaxCool- 2500L
Tải tối đa :: 2500W
Tốc độ bơm: 14000L / S.
6. Hệ thống lắng đọng
6.1 Nguồn phún xạ
a.Mục tiêu phún xạ ”125mm * 1400mm * 12 ~ 14mm - 1 bộ
b.Màn trập - 1 bộ
c.Bộ điều khiển lưu lượng lớn: Khí Ar - 1 bộ
d.Nguồn cung cấp phún xạ: DC 60KW - 1 bộ
6.2 Nguồn bay hơi
a.Nguồn bay hơi vonfram
b.Nguồn điện bay hơi: 20kVA
c.Thiết bị nguồn ion và nguồn điện
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ nước vào: 20 ~ 25 ℃, 200 lít / phút,
Áp suất nước vào: 2 ~ 3 kg / cm2
Nguồn: 3 pha 380V 50Hz (60Hz), 160kVA
Khu vực lắp đặt: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700mm
Exhaust: Thông gió cho máy bơm cơ khí
Chúng tôi đã nỗ lực thiết kế và phát triển các quy trình sơn phủ phù hợp nhất cho các bộ phận 3D khác nhau, đáp ứng yêu cầu sản xuất của khách hàng.Vì vậy chúng tôi cung cấp các giải pháp phủ tổng thể cho lớp phủ EMI.
Nếu cần có hệ thống phủ tùy chỉnh, vui lòng chia sẻ suy nghĩ và ý tưởng của bạn với nhóm của chúng tôi và gửi thông số kỹ thuật sản phẩm của bạn, chúng tôi sẽ làm việc cùng nhau để tìm ra các giải pháp tốt nhất.
Dịch vụ phủ EMI có sẵn, máy phủ EMI
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp giải pháp sơn phủ tổng thể cho bạn.