Mô hình máy PVD: RTSP1215-MF được thiết kế và phát triển để phủ lớp phủ TiN vàng trên bảng đồng. Màng TiN tạo ra trong môi trường chân không cao, làm tăng độ đồng nhất và độ tinh khiết.
Mạch đồng Ban TiN PVD Coating Machine các tính năng thiết kế:
1. Buồng 8 cạnh với mặt bích gắn với kích cỡ bằng nhau, có thể lắp ráp và trao đổi nguồn điện Ion và điện cực phun hoặc các cathot cực cong dựa trên nhu cầu của quá trình phủ.
2. Thiết kế nhỏ gọn chỉ chiếm 20sqm;
3. Nguồn Ion để làm sạch bằng tia plasma và xử lý lớp bồi bằng Ion để tăng độ bám dính của phim.
4. Gói bơm tốc độ cao và cấu hình ổn định, bơm phân tử từ tính có thể được gắn ở bất kỳ hướng nào.
Mạch đồng Ban TiN PVD Coating Machine Thông số kỹ thuật
Hiệu suất
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 5.0 x 10-6 Torr.
2. Áp suất hút: 1,0x10-4 Torr.
3. Thời gian bơm: Từ 1 atm đến 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, phòng sạch, khô và trống rỗng)
4. Metalizing vật liệu (sputtering + bay hơi bốc hơi): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vv
5. Mô hình hoạt động: Toàn tự động / bán tự động / thủ công
Kết cấu
Máy phủ chân không chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Phòng hút chân không
2. Hệ thống bơm chân không rò rỉ (gói bơm bơm)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử từ tính treo)
4. Hệ thống điều khiển và điều khiển điện
5. Hệ thống tiện nghi (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng
| RTSP1215-MF Số liệu kỹ thuật | |||||||
| MÔ HÌNH | RTSP1215-MF | ||||||
| CÔNG NGHỆ | Magnetron Sputtering (MF) | ||||||
| VẬT CHẤT | Thép không gỉ (S304) | ||||||
| KÍCH THƯỚC | Φ1200 * H1500mm | ||||||
| LOẠI TRẠM | 8 mặt, dọc, 1 cửa | ||||||
| Hệ thống phun | 4 bộ Phun xát Planar | ||||||
| Vật liệu vứt bỏ | Nhôm, bạc, đồng, Chrome, thép không gỉ, niken, Titanium, TiN | ||||||
| NGUỒN BIỂN | 4 Phun xát Planar + Nguồn Ion để làm sạch Plasma | ||||||
| KHÍ GA | MFC-2 cách, Ar, N2 | ||||||
| ĐIỀU KHIỂN | PLC (Programmable Logic Controller) + Màn hình cảm ứng | ||||||
| HỆ THỐNG POMP | SV300B - 1 bộ (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 bộ (Leybold) | |||||||
| MGK3304 - 2 bộ (Osaka) | |||||||
| CHĂM SÓC SỨC KH PREE | Nguồn cung cấp xung: 1 * 36 KW | ||||||
| HỆ THỐNG AN TOÀN | Nhiều khóa an toàn để bảo vệ các nhà khai thác và thiết bị | ||||||
| Làm lạnh | Nước lạnh | ||||||
| ĐIỆN ĐIỆN | 480V / 3 giai đoạn / 60HZ (tuân thủ Hoa Kỳ) | ||||||
| 460V / 3 pha / 50Hz (phù hợp với châu Á) | |||||||
| 380V / 3 pha / 50HZ (tuân thủ theo EU-CE) | |||||||
| Dấu chân | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| TỔNG KHỐI LƯỢNG | 7,0 T | ||||||
| Dấu chân | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| THỜI GIAN CHU KỲ | 30 ~ 40 phút (tùy thuộc vào chất liệu nền, bề mặt hình học và điều kiện môi trường) | ||||||
| SỨC MẠNH TỐI ĐA.. | 110KW | ||||||
| S AV DỤNG TIÊU ĐIỂM S AV DỤNG (APPROX.) | 50 KW | ||||||
Tấm đồng phủ đồng TiN Tấm PVD Coating
Xin vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm chi tiết, Royal Technology vinh dự cung cấp cho bạn tổng số các giải pháp phủ.
