| Buồng | Hướng dọc, 1 cửa |
|---|---|
| Vật chất | thép không gỉ 316 |
| Công nghệ chân không | Lớp phủ cứng PVD, Lớp phủ CrN, lớp mạ pvd, bốc hơi hồ quang catốt |
| Nguồn lắng đọng | Nguồn hồ quang |
| Tráng phim | Cr, CrN, CrC, v.v ... Mạ phim kim loại, Titanium Nitride, Titanium Carbide, Zirconium Nitride, Chrom |
