1. Hệ thống đun UHV được trang bị

• Súng thổi DC để chứa vật liệu bán dẫn và không dẫn điện (Si, SiO2, Al2O3, Si3N4, Cr2O3, ITO và các vật liệu khác).
• Súng phun RF để gửi vật liệu dẫn điện nhôm, bạc, vàng vv
• DC và RF cung cấp nguồn điện có thể được trao đổi linh hoạt.

2. Các ứng dụng của UHV

• Lớp phủ dẫn vật liệu polyme, gỗ, vải ở nhiệt độ thấp dưới 100 ℃

Áp dụng lớp phủ dẫn điện trên kính, gốm sứ và các vật liệu điện môi khác.

3. Hiệu suất kỹ thuật:

3. 1 Áp suất hút chân không: tốt hơn 5.0 x 10-6 Torr.

3. 2. Áp suất hút: 1.0 x 10-4 Torr.

3. Thời gian bơm: Từ 1 atm đến 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, phòng sạch, khô ráo)

3. Metalizing vật liệu (xay) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... vv

3. Mô hình vận hành: Tự động hoàn toàn / Bán tự động / Bằng tay

4. Cấu trúc

Máy UHV Sputtering bao gồm hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:

1. Phòng hút chân không

2. Hệ thống bơm chân không rò rỉ (gói bơm bơm)

3. Hệ thống bơm chân không cao (bơm khuếch tán)

4. Hệ thống điều khiển và điều khiển điện

5. Hệ thống tiện nghi (Hệ thống phụ)

6. Hệ thống lắng đọng

Để biết thêm chi tiết, vui lòng liên hệ với chúng tôi. Yêu cầu tùy chỉnh được hoan nghênh.