Thông số kỹ thuật của máy phát điện Magnetron
Các tính năng chính
1. Thiết kế từ trường phần tử hữu hạn
2. Magnet cô lập từ nước làm mát
3. Tương thích với DC / MF và RF Powers
4. Sử dụng mục tiêu cao
5. Hướng điều chỉnh ejecting
6. Mật độ năng lượng cao và tính đồng nhất tuyệt vời
7. Lựa chọn chế độ cân bằng và không cân bằng
| Công suất phún xạ tối đa | |
| Mục tiêu làm mát gián tiếp | > 20 Watts / cm 2 (DC) |
| > 7 Watts / cm 2 (RF) | |
| Điện thế xả / | 100 đến 1500 volts |
| Dòng nạp | > 0.05 amps / cm2 |
| Áp lực vận hành | 0,05 đến 5 Pa |
| Sử dụng mục tiêu | > 35% |
| Mục tiêu | |
| Hình thức | Hình chữ nhật / phẳng |
| Độ dày | 6mm ~ 16mm |
| Chiều rộng | 125mm |
| Cài đặt | Bên trong bên ngoài |
Xin vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm chi tiết, Royal Technology vinh dự cung cấp cho bạn tổng số các giải pháp phủ
