Hệ thống lắng đọng phim quang PECVD & Magnetron Cấu trúc khối đa diện

The Multi950 machine is a customized multiple functions vacuum deposition system for R&D. Máy Multi950 là một hệ thống lắng đọng chân không nhiều chức năng tùy chỉnh cho R & D. With half year's discussion with Shanghai University's team leaded by Professor Chen, we finally confirmed the design and configurations to fulfill theirs R&D applications. Với cuộc thảo luận nửa năm với nhóm của Đại học Thượng Hải do Giáo sư Chen dẫn đầu, cuối cùng chúng tôi đã xác nhận thiết kế và cấu hình để đáp ứng các ứng dụng R & D của họ. This system is able to deposit transparent DLC film with PECVD process, hard coatings on tools, and optical film with sputtering cathode. Hệ thống này có thể ký gửi màng DLC ​​trong suốt với quy trình PECVD, lớp phủ cứng trên các công cụ và phim quang học với cực âm phún xạ. Based on this pilot machine design concept, we have developed 3 other coating systems after then: Dựa trên khái niệm thiết kế máy thí điểm này, chúng tôi đã phát triển 3 hệ thống sơn khác sau đó:

1. Lớp phủ hai cực cho xe chạy bằng pin nhiên liệu- FCEV1213,
2. Đồng mạ trực tiếp bằng gốm- DPC1215,
3. Hệ thống phún xạ linh hoạt- RTSP1215.

These 4 models machine are all with Octal chamber, flexible and reliable performances are extensively used in various applications. Cả 4 model máy này đều có buồng Octal, hiệu suất linh hoạt và đáng tin cậy được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng khác nhau. It satisfy the coating processes require multi different metal layers: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS and many other non-feeromagnetic metals; Nó đáp ứng các quá trình phủ đòi hỏi nhiều lớp kim loại khác nhau: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS và nhiều kim loại không từ tính khác;
cộng với đơn vị nguồn Ion, tăng cường hiệu quả độ bám dính màng trên các vật liệu nền khác nhau với hiệu suất khắc plasma và quá trình PECVD để lắng đọng một số lớp dựa trên carbon.

The Multi950 is the milestone of advanced design coating systems for Royal Tech. Multi950 là cột mốc của các hệ thống sơn thiết kế tiên tiến cho Royal Tech. Here, we grateful thanks Shanghai University students and especially Process Yigang Chen, his creative and selfless dedication are unlimited values and inspired our team. Ở đây, chúng tôi biết ơn những sinh viên Đại học Thượng Hải và đặc biệt là Process Yigang Chen, sự cống hiến sáng tạo và vị tha của anh ấy là những giá trị không giới hạn và truyền cảm hứng cho đội ngũ của chúng tôi.

Vào năm 2018, chúng tôi đã có một dự án hợp tác khác với Pressor Chen, sự lắng đọng vật chất của C-60 bởi
Inductive thermal evaporation method. Phương pháp bay hơi nhiệt cảm ứng. We heartfully thank Mr. Yimou Yang and Professor Chen's leading and instruction on every innovative project. Chúng tôi chân thành cảm ơn sự hướng dẫn và chỉ dẫn của ông Yimou Yang và giáo sư Chen về mọi dự án sáng tạo.

Ưu điểm:

Dấu chân nhỏ gọn,
Thiết kế mô-đun chuẩn,
Linh hoạt,
Đáng tin cậy
Phòng Octal,
Cấu trúc 2 cửa để tiếp cận tốt,
Quy trình PVD + PECVD.
 

Đặc điểm thiết kế:

1. Tính linh hoạt: Các cực âm hồ quang và phún xạ, mặt bích lắp nguồn ion được tiêu chuẩn hóa để trao đổi linh hoạt;
2. Versatility: can deposit variety of base metals and alloys; 2. Tính linh hoạt: có thể ký gửi nhiều loại kim loại cơ bản và hợp kim; optical coatings, hard coatings, soft coatings, compound films and solid lubricating films on the metallic and non-metallic materials substrates. lớp phủ quang học, lớp phủ cứng, lớp phủ mềm, màng ghép và màng bôi trơn rắn trên nền vật liệu kim loại và phi kim loại.
3. Thiết kế thẳng về phía trước: Cấu trúc 2 cửa, mở trước & sau để dễ bảo trì.

Mô tả kỹ thuật:

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.