October 11, 2022
Thiết bị phủ đa chức năng R&D
Mô hình máy:Đa950-R & D
Công nghệ:PVD + PECVD
Thời gian xây dựng:2015
Địa điểm:Thượng Hải, Trung Quốc
Cài đặt & Kiểm tra:5 ngày
Vận hành & Đào tạo:3 ngày
Đặc điểm thiết kế
1. Tính linh hoạt: Hồ quang và cực âm phún xạ, mặt bích gắn nguồn Ion được tiêu chuẩn hóa để trao đổi linh hoạt;
2. Tính linh hoạt: có thể gửi nhiều loại kim loại cơ bản và hợp kim;lớp phủ quang học, lớp phủ cứng, lớp phủ mềm, màng phức hợp và màng bôi trơn rắn trên bề mặt vật liệu kim loại và phi kim loại.
3. Thiết kế thẳng về phía trước: Cấu trúc 2 cửa, mở trước & sau để dễ dàng bảo trì.
Máy Multi950 là một hệ thống lắng đọng chân không đa chức năng được tùy chỉnh cho R&D.Với cuộc thảo luận nửa năm với nhóm của Đại học Thượng Hải do Giáo sư Chen dẫn đầu, chúng tôi cuối cùng đã xác nhận thiết kế và cấu hình để đáp ứng các ứng dụng R&D của họ.Hệ thống này có thể tạo màng DLC trong suốt bằng quy trình PECVD, lớp phủ cứng trên các dụng cụ và màng quang học với cực âm phún xạ.Dựa trên ý tưởng thiết kế máy thí điểm này, chúng tôi đã phát triển 3 hệ thống sơn khác sau đó:
1. Lớp phủ tấm lưỡng cực cho xe điện pin nhiên liệu-RT1200-FCEV
2. Đồng mạ trực tiếp gốm- RT1200-DPC
3. Hệ thống phún xạ linh hoạt- RTSP1200-PCB
4 mẫu máy này đều có buồng Octal, hiệu suất linh hoạt và đáng tin cậy được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng khác nhau.Nó đáp ứng các quy trình sơn phủ yêu cầu nhiều lớp kim loại khác nhau: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS và nhiều kim loại phi điện từ khác;cộng với bộ nguồn Ion, tăng cường hiệu quả độ bám dính của màng trên các vật liệu nền khác nhau với hiệu suất khắc plasma và quy trình PECVD để lắng đọng một số lớp dựa trên carbon.
RT1200-PCB
RT1200-DPC (đồng mạ trực tiếp trên Ceramic / Al2O3, AlN)
RT1200-FCEV
Multi950 là cột mốc quan trọng của hệ thống sơn thiết kế tiên tiến cho Royal Tech.Tại đây, chúng tôi xin gửi lời cảm ơn đến các sinh viên Đại học Thượng Hải và đặc biệt là Process Yigang Chen, sự cống hiến đầy sáng tạo và quên mình của anh ấy là giá trị vô hạn và truyền cảm hứng cho đội ngũ của chúng tôi.
Vào năm 2018, chúng tôi đã có một dự án hợp tác khác với Pressor Chen, lắng đọng vật liệu C-60 bằng phương pháp bốc hơi nhiệt cảm ứng.Chúng tôi đánh giá cao sự dẫn dắt và hướng dẫn của ông Yimou Yang và Giáo sư Chen trong mọi dự án đổi mới.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin.
