Trong thế giới năng động của khoa học vật liệu, quang học và kỹ thuật bề mặt, việc có các thiết bị phòng thí nghiệm đa năng và đáng tin cậy không chỉ là một lợi thế—đó là một nhu cầu thiết yếu. Đối với các nhóm nghiên cứu đang khám phá các lớp phủ tiên tiến—từ màng DLC siêu cứng đến các lớp quang học có độ phản xạ cao—thách thức thường nằm ở việc tìm kiếm một hệ thống lắng đọng duy nhất cung cấp cả tính linh hoạt và độ chính xác. Giới thiệu Royal RTAC950-SP, một máy phủ chân không đa chức năng hiện đại được thiết kế đặc biệt cho R&D, tích hợp các cathode phun trung tần/dòng điện một chiều và một nguồn ion tuyến tính để mở ra những khả năng thử nghiệm chưa từng có.
Tại sao nên chọn một hệ thống đa quy trình, mô-đun cho phòng thí nghiệm của bạn?
Các máy phủ đơn quy trình truyền thống có thể hạn chế sự đổi mới, buộc các nhà nghiên cứu phải điều chỉnh các dự án của họ theo khả năng của thiết bị thay vì ngược lại. Royal RTAC950-SP phá vỡ những ràng buộc này bằng kiến trúc mô-đun “cắm và chạy”. Các mặt bích gắn tiêu chuẩn của nó cho phép trao đổi nhanh chóng và dễ dàng các cathode phun magnetron Gencoa, các nguồn bay hơi hồ quang và các cụm nguồn ion tuyến tính. Điều này có nghĩa là phòng thí nghiệm của bạn có thể chuyển đổi liền mạch giữa các lớp phủ cứng PVD, quy trình PECVD, màng DLC/carbon giống kim cương và các lớp phủ quang học được phun mà không cần đầu tư vào nhiều máy chuyên dụng. Đây là công cụ tối ưu để so sánh các nghiên cứu và phát triển các màng nhiều lớp hoặc màng composite thế hệ tiếp theo.
Được thiết kế để đạt hiệu suất và sự đơn giản
Về cốt lõi, RTAC950-SP được chế tạo để mang lại kết quả mạnh mẽ, có thể lặp lại trong các điều kiện nghiên cứu nghiêm ngặt.
- Nền tảng chân không vượt trội: Đạt được áp suất nền ≤ 3.0*10⁻² Pa và chân không cuối cùng tốt hơn 8.0*10⁻⁴ Pa, hệ thống đảm bảo một môi trường sạch, không có chất gây ô nhiễm, cần thiết cho sự phát triển màng có độ tinh khiết cao. Chu kỳ bơm nhanh (≤15 phút đến 1.0*10⁻³ Pa) tối đa hóa thời gian làm việc hiệu quả trong phòng thí nghiệm.
- Kiểm soát quy trình chính xác: Được trang bị hệ thống tự động hóa PLC + Màn hình cảm ứng (với PLC Mitsubishi và các thành phần Schneider/Omron), máy phủ cung cấp các chế độ vận hành hoàn toàn tự động, bán tự động và thủ công. Hệ thống quản lý công thức của nó tự động ghi lại tất cả các thông số quan trọng—dòng điện/điện áp mục tiêu, lưu lượng khối, áp suất, nhiệt độ và thời gian phủ—để phân tích chi tiết và sao chép quy trình hoàn hảo.
- Khả năng lắng đọng mạnh mẽ: Cho dù bạn đang phun từ các mục tiêu ITO, Ti, Cr, Al hoặc các mục tiêu hợp kim như TiAl, hoặc sử dụng các cathode hồ quang cho các màng kim loại đặc, hệ thống cung cấp sự lắng đọng ổn định, được kiểm soát. Nguồn ion tuyến tính tích hợp là một yếu tố thay đổi cuộc chơi, cho phép lắng đọng hỗ trợ ion (IAD) cho các lớp phủ đặc hơn, bám dính hơn và tạo điều kiện cho các quy trình PA PVD và PECVD tiên tiến.
- Thiết kế hướng đến người dùng: Thiết kế buồng hai cửa (trước và sau), được chế tạo từ thép không gỉ SUS304, mang đến khả năng tiếp cận đặc biệt để nạp mẫu, thay đổi đồ gá và bảo trì. Các hệ thống khóa liên động an toàn toàn diện bảo vệ cả người vận hành và thiết bị.
Thông số kỹ thuật chính trong nháy mắt
- Kích thước bên trong buồng: Ø950mm (D) x 1350mm (H)
- Gia nhiệt: Gia nhiệt mẫu lên đến 500°C
- Nguồn điện: Tích hợp phun MF/DC, hồ quang DC và nguồn điện thiên vị.
- Giám sát: Đồng hồ đo chân không toàn dải, cặp nhiệt điện và MFC 4 kênh để kiểm soát khí chính xác.
- Diện tích: Khoảng 4400 x 3200 x 2950 mm, được thiết kế để sử dụng không gian phòng thí nghiệm hiệu quả.
Ứng dụng rộng rãi cho nghiên cứu tiên tiến
RTAC950-SP là hệ thống lắng đọng màng mỏng trong phòng thí nghiệm lý tưởng cho một loạt các ứng dụng:
- Lớp phủ chức năng & bảo vệ: Phát triển các lớp phủ cứng chống mài mòn, chống ăn mòn cho các công cụ và linh kiện. Thiết kế các lớp phủ bôi trơn rắn hoặc trang trí với các màu như đen, vàng hồng hoặc xanh lam.
- Màng quang học & bán dẫn: Lắng đọng các màng mỏng quang học trong suốt có độ phản xạ cao, chống phản xạ hoặc dẫn điện.
- Màng carbon tiên tiến: Nghiên cứu và tối ưu hóa các đặc tính của màng DLC và carbon giống kim cương cho các ứng dụng y sinh, ô tô hoặc ma sát.
- R&D cơ bản: Tính linh hoạt của nó làm cho nó hoàn hảo để tạo mẫu các kiến trúc lớp phủ mới, nghiên cứu cơ chế phát triển màng và thử nghiệm các kết hợp vật liệu mới.
Ưu điểm của Royal: Không chỉ là một cỗ máy
Chọn Royal có nghĩa là hợp tác với một nhà cung cấp giải pháp chuyên dụng. Chúng tôi cung cấp:
- Hỗ trợ toàn diện: Từ vận hành và bảo trì máy đến đào tạo chuyên sâu về công thức quy trình phủ và lập trình.
- Mạng lưới dịch vụ toàn cầu: Với các trung tâm hỗ trợ ở Châu Âu (Ba Lan), Trung Đông (Iran, Thổ Nhĩ Kỳ), Ấn Độ và Nam Mỹ (Mexico).
- Bảo hành & Tùy chỉnh: Được bảo hành giới hạn miễn phí 1 năm và bảo hành máy trọn đời. Chúng tôi cũng cung cấp các dịch vụ OEM & ODM cho các giải pháp được thiết kế tùy chỉnh.
- Giao hàng trên toàn thế giới: Được đóng gói theo tiêu chuẩn xuất khẩu để vận chuyển đường biển/hàng không đường dài an toàn.
Trao quyền cho nghiên cứu của bạn ngay hôm nay
Đừng để những hạn chế về thiết bị xác định phạm vi nghiên cứu của bạn. Hệ thống phủ R&D đa chức năng Royal RTAC950-SP không chỉ là một máy phủ phun trong phòng thí nghiệm—đó là một nền tảng nghiên cứu có thể mở rộng được thiết kế để phát triển cùng với các dự án của bạn.
Bạn đã sẵn sàng để chuyển đổi khả năng nghiên cứu màng mỏng của mình chưa? Hãy liên hệ với Royal Technology ngay bây giờ để thảo luận về các nhu cầu cụ thể của bạn, yêu cầu báo giá chi tiết và khám phá cách các giải pháp phủ toàn diện của chúng tôi có thể đẩy nhanh con đường khám phá của bạn. Hãy cùng nhau xây dựng tương lai của kỹ thuật bề mặt.
