Hệ thống lắng đọng phún xạ Magnetron đồng, Cooper mạ trực tiếp trên nền gốm LED
Màn biểu diễn
1. Áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 5,0 × 10-6Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1,0 × 10-4Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1,0 × 10-4Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và buồng trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr v.v.
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
Kết cấu
Máy sơn chân không có chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng chân không
2. Hệ thống bơm chân không thô (Gói bơm dự phòng)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở phụ trợ (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng
Máy sơn phún xạ đồng Các tính năng chính
1. Được trang bị 8 cực âm hồ quang chỉ đạo và cực âm phún xạ DC, cực âm phún xạ MF, đơn vị nguồn Ion.
2. Có sẵn lớp phủ nhiều lớp và đồng lắng đọng
3. Nguồn ion để xử lý trước làm sạch plasma và hỗ trợ lắng đọng chùm tia ion để tăng cường độ bám dính của màng.
4. Đơn vị nung nóng đế gốm / Al2O3 / AlN;
5. Hệ thống quay và cách mạng bề mặt, cho lớp phủ 1 mặt và lớp phủ 2 mặt.
DPC đặt tên là Đồng mạ trực tiếp, còn được gọi là Chất nền mạ đồng trực tiếp.Quy trình của DPC:
1. Đầu tiên, được mạ đồng trực tiếp trên nền gốm bằng công nghệ PVD.Nó chứa các bước làm sạch plasma, lắng đọng phún xạ cooper, tạo ra một lớp đồng mỏng trên chip gốm;
2. Thứ hai là lưu đồ tiếp xúc, phát triển, khắc, loại bỏ phim;
3. Cuối cùng, sử dụng quy trình mạ điện / mạ hóa học để tăng độ dày màng lắng đọng cho đến khi loại bỏ chất cản quang, quá trình kim loại hóa kết thúc.
Các tính năng nền gốm quá trình DPC:
1. Chi phí sản xuất thấp hơn nhiều.
2. Quản lý nhiệt vượt trội và hiệu suất truyền nhiệt
3. Căn chỉnh chính xác và thiết kế mẫu,
4. Mật độ mạch cao
5. Độ bám dính và khả năng hàn tốt
Do hiệu suất nâng cao này, chất nền DPC được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng khác nhau:
Đèn LED có độ sáng cao để tăng thời gian sử dụng lâu dài vì độ sáng cao của nóbức xạ nhiệthiệu suất, thiết bị bán dẫn, truyền thông không dây vi sóng, thiết bị điện tử quân sự, chất nền cảm biến khác nhau, hàng không vũ trụ, giao thông đường sắt, năng lượng điện, v.v.
Thiết bị RTAC1215-SP được thiết kế dành riêng cho quy trình DPC lấy lớp cooper trên chất nền.Thiết bị này sử dụng nguyên lý lắng đọng hơi vật lý PVD, với kỹ thuật mạ ion đa hồ quang và phún xạ magnetron để thu được màng lý tưởng với mật độ cao, chống mài mòn cao, độ cứng cao và liên kết mạnh trong môi trường chân không cao.Đây là bước quan trọng đối với quy trình DPC nghỉ ngơi.
Cathode phún xạ:
Làm sạch nguồn ion Plasma
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
