Máy tráng phún xạ DC Magnetron / Hệ thống phún xạ DC
Mô hình phún xạ Magnetron: phún xạ DC, phún xạ MF, phún xạ RF
DC Sputtering là gì?
DC Sputtering chủ yếu được sử dụng để bắn các mục tiêu kim loại nguyên chất như: Chrome, Titanium, Aluminium, Đồng, Thép không gỉ, Nickle, Bạc, Vàng cho các màng dẫn điện cao.
DC Sputtering là một kỹ thuật phủ lớp màng mỏng lắng đọng hơi vật lý (PVD) trong đó vật liệu đích được sử dụng làm lớp phủ bị bắn phá bằng các phân tử khí ion hóa khiến các nguyên tử bị “bắn tung tóe” vào plasma.Các nguyên tử hóa hơi này sau đó được lắng đọng khi chúng ngưng tụ lại như một lớp màng mỏng trên bề mặt cần phủ.
Phún xạ DC là loại phún xạ cơ bản và rẻ tiền nhất để lắng đọng kim loại PVD và vật liệu phủ mục tiêu dẫn điện.Hai ưu điểm chính của DC làm nguồn điện cho quá trình này là nó dễ điều khiển và là một lựa chọn chi phí thấp nếu bạn đang làm lắng đọng kim loại cho lớp phủ.
DC Sputtering được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn tạo ra mạch vi mạch ở cấp độ phân tử.Nó được sử dụng cho lớp phủ vàng của đồ trang sức, đồng hồ và các lớp hoàn thiện trang trí khác, cho lớp phủ không phản chiếu trên thủy tinh và các thành phần quang học, cũng như cho nhựa bao bì kim loại hóa, gương ô tô, phản xạ ánh sáng ô tô, bánh xe ô tô và trung tâm, v.v.
Máy sơn phún xạ DC MagnetronMàn biểu diễn
1. Áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 5,0 × 10-6Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1,0 × 10-4Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1,0 × 10-4Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và buồng trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, v.v.
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
Cấu trúc máy sơn phún xạ DC Magnetron
Máy sơn chân không có chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng chân không
2. Hệ thống bơm chân không thô (Gói bơm dự phòng)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở phụ trợ (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng: Cực âm phún xạ DC, nguồn điện DC, Nguồn cung cấp ion Bias Power Supply cho tùy chọn
Máy sơn phún xạ DC MagnetronThông số kỹ thuật
| RTSP1250-DC | |||||||
| NGƯỜI MẪU | RTSP1250-DC | ||||||
| CÔNG NGHỆ | Magnetron phún xạ (DC) + Mạ ion | ||||||
| VẬT CHẤT | Thép không gỉ (S304) | ||||||
| KÍCH THƯỚC CHAMBER | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| LOẠI CHAMBER | Xylanh, thẳng đứng, 1 cửa | ||||||
| HỆ THỐNG SPUTTERING | Thiết kế độc quyền để lắng đọng màng đen mỏng | ||||||
| VẬT LIỆU THÀNH PHẦN | Nhôm, bạc, đồng, Chrome, thép không gỉ, niken, titan | ||||||
| NGUỒN THÀNH PHẦN | Mục tiêu phún xạ hình trụ / phẳng + 7 nguồn hồ quang cathode có hướng | ||||||
| KHÍ GA | MFC- 4 cách, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| ĐIỀU KHIỂN | PLC (Bộ điều khiển logic có thể lập trình) + Màn hình cảm ứng |
||||||
| HỆ THỐNG BƠM | SV300B - 1 bộ (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |||||||
| D60T- 2 bộ (Leybold) | |||||||
| Bơm phân tử Turbo: 2 * F-400/3500 | |||||||
| ĐIỀU TRỊ TRƯỚC | Nguồn cung cấp thiên vị: 1 * 36 KW | ||||||
| HỆ THỐNG AN TOÀN | Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị |
||||||
| LÀM MÁT | Nước lạnh | ||||||
| ĐIỆN ĐIỆN | 480V / 3 pha / 60HZ (tuân thủ Hoa Kỳ) | ||||||
| 460V / 3 pha / 50HZ (tuân thủ Châu Á) | |||||||
| 380V / 3 pha / 50HZ (tuân thủ EU-CE) | |||||||
| CHÂN VÁY | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| TỔNG KHỐI LƯỢNG | 7,0 T | ||||||
| CHÂN VÁY | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| THỜI GIAN CHU KỲ | 30 ~ 40 phút (tùy thuộc vào chất liệu nền, hình học nền và điều kiện môi trường) |
||||||
| SỨC MẠNH TỐI ĐA.. | 155KW | ||||||
| TIÊU THỤ ĐIỆN AVERAGE (APPROX.) | 75KW | ||||||
Chúng tôi có nhiều mô hình hơn để bạn lựa chọn!
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
