MF Magnetron Sputtering Coating Machine, MF phún xạ lớp phủ phim đen thực vật, đen TiCN, CrC phim chân không Coater

Kim loại trang trí than chì Hệ thống phún xạ MF / Nhà máy sơn chân không lắng đọng than chì PVD

Metal Graphite Trang trí Hệ thống phún xạ MF là một máy tích hợp nhiều nguồn lắng đọng cho than chì thông thường, màu đen tuyền, màu xanh da trời, vv trang trí trên các bộ phận kim loại, vật thể bằng thép không gỉ. Đặc biệt được sử dụng cho các sản phẩm cao cấp cao cấp như: điện tử: điện thoại thông minh, máy ảnh, máy tính xách tay, golf, muỗng, dĩa, dao, tay nắm cửa, vòi; đồ trang sức của nhẫn ngón tay, vòng cổ, vòng tai, vòng đeo tay, vv

Hệ thống phún xạ kim loại trang trí than chì có nhiều nguồn lắng đọng:
Các nguồn Arc Arc được tích hợp để bay hơi mục tiêu kim loại rắn;

2 cặp catốt phún xạ không dao động MF để lắng đọng lớp màng mỏng than chì;

Cung cấp năng lượng cho máy bay ném bom ion để tạo thành khu vực plasma để xử lý trước;

Đơn vị nguồn ion tuyến tính Anode (tùy chọn) xử lý PACVD và PECVD;

Cryopump (Polycold) cho ngưng tụ phân tử nước (cho tùy chọn)

MF phún xạ là gì?

So với phún xạ DC và RF, phún xạ giữa tần số đã trở thành một kỹ thuật phún xạ màng mỏng chính để sản xuất hàng loạt lớp phủ, đặc biệt là cho sự lắng đọng màng của lớp phủ điện môi và không dẫn điện trên các bề mặt như lớp phủ quang học, tấm pin mặt trời, nhiều lớp , phim vật liệu tổng hợp, vv

Nó đang thay thế phún xạ RF do nó hoạt động với kHz chứ không phải MHz để có tốc độ lắng nhanh hơn nhiều và cũng có thể tránh được ngộ độc Target trong quá trình lắng đọng màng mỏng như DC.

Mục tiêu phún xạ MF luôn tồn tại với hai bộ. Hai cực âm được sử dụng với dòng điện xoay chiều qua lại giữa chúng để làm sạch bề mặt mục tiêu với mỗi lần đảo ngược để giảm điện tích tích tụ trên điện môi dẫn đến việc tạo ra các giọt có thể phun ra plasma và ngăn sự phát triển màng mỏng đồng nhất --- đó là những gì chúng ta gọi là Nhiễm độc đích.

Hiệu suất hệ thống phún xạ MF

1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 5.0 × 10 ^{- 6} Torr.

2. Áp suất chân không hoạt động: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr.

3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1.0 × 10 ^{- 4} Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)

4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, v.v.

5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công

Cấu trúc hệ thống phún xạ MF

Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn thành chính được liệt kê dưới đây:

1. Buồng hút chân không

2. Hệ thống bơm chân không rầm rộ (Gói bơm dự phòng)

3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)

4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện

5. Hệ thống cơ sở vật chất (Hệ thống phụ)

6. Hệ thống lắng đọng: cực âm phún xạ MF, cấp nguồn MF, nguồn ion cung cấp năng lượng thiên vị cho tùy chọn

Kích thước hệ thống phún xạ kim loại trang trí than chì:

Kích thước bên trong buồng: Dia 1200 mm ~ 1600mm
Chiều cao bên trong buồng: 1250mm ~ 1300mm

Kích thước máy tùy chỉnh cũng có sẵn dựa trên nhu cầu cụ thể của sản phẩm 3D.

Hệ thống phún xạ MF Thông số kỹ thuật RTAC1250-SPMF

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.