Chốt chính xác PVD Máy màng mỏng màng mỏng / phim Nano Thin PVD Trang trí hoàn thiện
PVD là gì?
PVD (tên tắt của Physical Vapor Deposition) là một quy trình phủ chân không để sản xuất một màng mỏng dựa trên kim loại có thể được đồng nhất lưu trên các bề mặt dẫn điện. Sử dụng phương pháp bốc hơi Arc ion và phương pháp phún xạ magnetron MF, một lớp phủ duy nhất cung cấp vùng phủ sóng rộng rãi mà không sửa đổi bề mặt bề mặt. Kỹ thuật này được sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp điện tử bao gồm quang học phương tiện, quang học và các thành phần bán dẫn.
PVD Tính chất phim Thin
Chốt chính xác PVD máy màng mỏng được sử dụng với các ốc vít và phụ kiện như ốc, bu lông, máy nghiền, phụ kiện, mũ dùng trong mỹ phẩm, sản phẩm điện tử, máy cơ khí, ô tô công nghiệp đang sử dụng rộng rãi công nghệ PVD để có được nhiều màu Panton, vàng, đen, xanh, xám, bạc, cầu vồng, đồng, champage vv
Chốt chính xác PVD Màng Film mỏng Màng lắng đọng máy
Các nguồn vòng cung hướng dẫn cho sự bay hơi kim loại rắn;
2 cặp mồi MF không thổi phốt cho việc lắng đọng lớp màng mỏng graphite;
Cung cấp năng lượng Bias cho bombyment ion để tạo thành vùng plasma để điều trị trước;
Đơn vị nguồn tuyến tính tuyến tính cực dương (cho tùy chọn) PACVD và PECVD chế biến;
Cryopump (Polycold) cho nước ngưng tụ phân tử (đối với tùy chọn)
Chốt chính xác PVD Cấu trúc máy màng mỏng mỏng
1. Phòng hút chân không
2. Hệ thống bơm chân không rò rỉ (gói bơm bơm)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử từ tính treo)
4. Hệ thống điều khiển và điều khiển điện
5. Hệ thống tiện nghi (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng: Đốt catốt MF, nguồn điện MF, nguồn cung cấp IAS đơn giản cho các tùy chọn
Chốt chính xác PVD Màng mỏng Màng Machin Hiệu suất
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 5.0 x 10-6 Torr.
2. Áp suất hút: 1,0x10-4 Torr.
3. Thời gian bơm: Từ 1 atm đến 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, phòng sạch, khô và trống rỗng)
4. Metalizing vật liệu (Sputtering + Bốc hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, vv
5. Mô hình hoạt động: Toàn tự động / bán tự động / thủ công
Chốt chính xác PVD Màng mỏng Mỏng Machin Thông số kỹ thuật
MÔ HÌNH | RTAC1250-SPMF | ||||||
CÔNG NGHỆ | Máy phun mờ Magnetron MF + Mạ Ion | ||||||
VẬT CHẤT | Thép không gỉ (S304) | ||||||
KÍCH THƯỚC | Φ1250 * H1250mm | ||||||
LOẠI TRẠM | Xilanh, dọc, 1 cửa | ||||||
Hệ thống phun | Thiết kế độc quyền cho việc lắng đọng phim đen mỏng | ||||||
Vật liệu vứt bỏ | Nhôm, bạc, đồng, Chrome, thép không gỉ, Niken | ||||||
NGUỒN BIỂN | 2 bộ tiêu chí xi măng trụ MF + 8 nguồn cung cấp Cathodic Arc + Nguồn Ion Tùy chọn | ||||||
KHÍ GA | MFC-4 cách, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
ĐIỀU KHIỂN | PLC (Programmable Logic Controller) + | ||||||
HỆ THỐNG POMP | SV300B - 1 bộ (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |||||||
D60T- 1 bộ (Leybold) | |||||||
Bơm phân tử Turbo: 2 * F-400/3500 | |||||||
CHĂM SÓC SỨC KH PREE | Nguồn cung cấp xung: 1 * 36 KW | ||||||
HỆ THỐNG AN TOÀN | Nhiều khóa an toàn để bảo vệ các nhà khai thác | ||||||
Làm lạnh | Nước lạnh | ||||||
ĐIỆN ĐIỆN | 480V / 3 giai đoạn / 60HZ (tuân thủ Hoa Kỳ) | ||||||
460V / 3 pha / 50Hz (phù hợp với châu Á) | |||||||
380V / 3 pha / 50HZ (tuân thủ theo EU-CE) | |||||||
Dấu chân | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
TỔNG KHỐI LƯỢNG | 7,0 T | ||||||
Dấu chân | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
THỜI GIAN CHU KỲ | 30 ~ 40 phút (tùy thuộc vào chất liệu nền, bề mặt hình học và điều kiện môi trường) | ||||||
SỨC MẠNH TỐI ĐA.. | 155 KW | ||||||
ĐIỆN T AV TIÊU DÙNG (APPROX.) | 75 KW |
Các kích cỡ máy tùy chỉnh cũng có sẵn dựa trên các sản phẩm yêu cầu cụ thể.
Xin vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm chi tiết, Royal Technology vinh dự cung cấp cho bạn tổng số các giải pháp phủ.