PVD Sputtering Máy tráng phủ, Hệ thống phún xạ MF, Đơn vị lắng đọng TiN MF
MF Mangetron Sputtering Coater RT1215-SPMF được thiết kế để mạ đồng, alumunium, nhựa, bảng mạch kim loại mạ lớp màng dẫn điện. Nó có thể ngưng tụ màng mỏng Nano trên đế. Ngoại trừ Ag phún xạ, nó cũng có thể ký gửi Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L.
Máy RTSP1215-MF được lắp đặt với 2 cặp catốt phún xạ MF trên buồng và 1 bộ nguồn Anode Layer Ion để làm sạch bắn phá plasma trước khi lắng đọng màng PVD.
Nguồn ion là bản gốc từ công ty Gencoa, thuộc tính:
1. Từ trường được tối ưu hóa để tạo ra chùm plasma chuẩn trực ở áp suất phún xạ tiêu chuẩn
2. Điều chỉnh tự động để gas duy trì dòng điện & điện áp không đổi - điều khiển tự động đa gas
3. Cực dương than chì và cực âm để bảo vệ chất nền khỏi bị nhiễm bẩn và cung cấp các thành phần có tuổi thọ cao
4. Cách điện tiêu chuẩn RF trên tất cả các nguồn ion
5. Làm mát trực tiếp cực dương và cực âm - chuyển đổi nhanh các bộ phận
6. Dễ dàng chuyển đổi các bộ phận catốt để cung cấp nhiều bẫy từ cho hoạt động điện áp thấp hơn hoặc chùm tia tập trung
7. Cung cấp điện quy định với phản hồi điều chỉnh khí để duy trì cùng một dòng điện mọi lúc
Bố trí thiết bị sơn phủ RTSP1215-MF MF
Các ứng dụng thiết bị sơn phủ RTSP1215-MF MF:
1. Có sẵn trên các chất nền của: Nhựa, Polyme, Kính và tấm gốm, Thép không gỉ, Tấm đồng, Tấm nhôm, v.v.
2. Để tạo màng Nano như: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al, v.v.
RT1215-SPMF MF Thiết bị lớp phủ Thiết bị sơn:
1. Thiết kế chắc chắn, tốt cho không gian phòng hạn chế
2. Dễ dàng truy cập để bảo trì và sửa chữa
3. Hệ thống bơm nhanh cho năng suất cao
4. Vỏ điện tiêu chuẩn CE, tiêu chuẩn UL cũng có sẵn.
5. Tay nghề chế tạo chính xác
6. Chạy ổn định để đảm bảo sản xuất phim chất lượng cao.
Trạng thái làm việc của xi lanh hoặc Planar MF
Thông số kỹ thuật của thiết bị sơn phủ RT1215-SPMF MF:
MÔ HÌNH | RT1215-SPMF |
VẬT CHẤT | Thép không gỉ (S304) |
KÍCH THƯỚC CHAMBER | 001200 * 1500mm (H) |
LOẠI CHAMBER | Cấu trúc 1 cửa, dọc |
GÓI BƠM | Bơm VaneVacuum quay |
Rễ bơm chân không | |
Bơm phân tử treo | |
Bơm chân không cánh quạt quay hai giai đoạn | |
CÔNG NGHỆ | MF Magnetron phún xạ, Nguồn ion tuyến tính |
CUNG CẤP NĂNG LƯỢNG | Cung cấp năng lượng phún xạ + Cung cấp năng lượng thiên vị + Nguồn ion |
NGUỒN GỬI | 2 cặp Cathodes phún xạ MF + Nguồn ion |
ĐIỀU KHIỂN | Màn hình cảm ứng PLC + |
KHÍ GA | Đồng hồ đo lưu lượng khí (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Nitơ và Ethyne, Oxy |
HỆ THỐNG AN TOÀN | Vô số khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị |
KẾT HỢP | Nước làm mát |
LÀM SẠCH | Nguồn phát sáng / Nguồn ion |
SỨC MẠNH TỐI ĐA. | 120KW |
TIÊU THỤ ĐIỆN TỬ | 70KW |
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.