Hệ thống lắng đọng màng mỏng PVD phún xạ và bay hơi nhiệt Lớp phủ chân không năng suất cao
1
MOQ
Negotiable
giá bán
PVD Thin Film Deposition System Sputtering And Thermal Evaporating Vacuum Coating  High productivity PVD Coating Machine
Đặc trưng Bộ sưu tập Mô tả sản phẩm Yêu cầu báo giá
Đặc trưng
Thông tin cơ bản
Nguồn gốc: Trung Quốc
Hàng hiệu: ROYAL
Chứng nhận: CE, UL Standard
Số mô hình: RTEP1616-SP
Điểm nổi bật:

thin film coating equipment

,

thin film deposition equipment

Thanh toán
chi tiết đóng gói: Tiêu chuẩn xuất khẩu, được đóng gói trong trường hợp mới / thùng carton, thích hợp cho đường dài đại
Thời gian giao hàng: 12 tuần
Thông số kỹ thuật
Công nghệ: DC phun ra catốt và các nguồn bốc hơi nhiệt
Tính năng: Cấu trúc 2 cửa, buồng đứng, cho năng suất cao
Địa điểm nhà máy: Thành phố Thượng Hải, Trung Quốc
Dịch vụ trên toàn thế giới: Poland - Europe; Ba Lan - Châu Âu; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India
Dịch vụ trên toàn thế giới: Poland - Europe; Ba Lan - Châu Âu; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India
Dịch vụ đào tạo: Vận hành máy, bảo trì, quy trình sơn Công thức, chương trình
Sự bảo đảm: Bảo hành giới hạn 1 năm miễn phí, trọn đời máy
OEM & ODM: có sẵn, chúng tôi hỗ trợ thiết kế và chế tạo theo yêu cầu riêng
Mô tả sản phẩm

PVD Thin Film Deposition Hệ thống phún xạ và thiết bị hút chân không bay hơi nhiệt

Hệ thống lắng đọng màng mỏng PVD, phún xạ và thiết bị hút chân không bay hơi nhiệt

Hệ thống lắng đọng màng mỏng PVD chứa các nguồn lắng đọng nguồn bốc hơi vonfram và các nguồn phát xạ magnetron DC (các cực âm phún xạ RF là tùy chọn). Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để gửi màng mỏng lên các bộ phận bằng nhựa, thủy tinh, kim loại hoặc lá với các vật liệu lắng đọng như: kim loại tinh khiết Al, Cr, Cu, Ag, Au, Ti…. bề mặt hoặc phim dẫn điện, hoặc đưa ra một hình ảnh triển vọng kim loại. Ngoại trừ việc, các nguồn phún xạ ngưng tụ một loạt các vật liệu bán dẫn và dielectrics bao gồm các oxit dẫn điện trong suốt, vv

Cấu hình hệ thống lắng đọng màng PVD mỏng:

 

Hiệu suất

1. Áp lực chân không cuối cùng: tốt hơn 5.0 × 10 -6 Torr.

2. Vận hành áp suất chân không: 1,0 × 10 -4 Torr.

3. Bơm xuống Thời gian từ 1 atm đến 1.0 × 10 -4 Torr≤3 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và trống)

4. Vật liệu kim loại hóa (bay hơi): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu…

5. mô hình hoạt động: đầy đủ tự động / bán tự động / bằng tay

l cấu trúc

Máy hút chân không có chứa hệ thống hoàn thiện chính được liệt kê dưới đây:

1. buồng chân không
1.1 Kích thước: Đường kính bên trong 1600mm

Chiều cao bên trong 1600mm

1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304 (SS41 thép nhẹ để lựa chọn)

Cửa và mặt bích SUS304 (SS41 thép nhẹ cho các tùy chọn)

Phòng tăng cường cấu trúc: SS41 thép nhẹ, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.

Buồng tủ SS41 thép nhẹ với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.

1.3 khiên: SUS304

  1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng

1.5 Vacuum Chamber Venting Valve, bao gồm bộ giảm thanh

1.6 Vật liệu SUS304 cửa

2. Rouhging bơm chân không hệ thống

3. Hệ thống bơm chân không cao

4. Hệ thống điều khiển và vận hành bằng điện - PLC + Màn hình cảm ứng

4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo loại

4.2 Công suất bay hơi: 35kVA

4.3 Hệ thống kiểm soát bay hơi

4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt máy, tự động sơ tán, sơn tự động

4.5 Hệ thống đo áp suất chân không

Máy đo chân không: Pirani + Penning gauge

Cặp nhiệt điện đo: 760 Torr ~ 5 * 10 -4 Torr

4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, dòng nước làm mát, hoạt động sai

4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải

5. Hệ thống lắng đọng

5.1 Nguồn bốc hơi dây tóc vonfram

5.2 Vật liệu bay hơi nhiệt: dây, nhẫn, thanh vv

5.3 Các nguồn phát xạ (DC / MF power driven)

 

6. Hệ thống phụ

6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí

6.2 Hệ thống nước làm mát - Hệ thống van và ống dẫn lưu lượng nước

Tìm hiểu thêm về máy và ứng dụng hiện có, vui lòng liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ.

Hãy liên lạc với chúng tôi
Fax : 86-21-67740022
Ký tự còn lại(20/3000)