PVD hoặc kim loại chân không là gì?
Quá trình áp dụng lớp phủ kim loại màng mỏng bằng PVD là đặt một phần vào buồng chân không kín, và áp dụng dòng điện và điện áp hoặc bắn phá khí trơ để ion hóa vật liệu đích (có thể là kim loại tinh khiết hoặc hợp kim ). Khi vật liệu mục tiêu được ion hóa thành dạng hơi, nó được lắng đọng trên bề mặt phần. Có ba loại lớp phủ PVD phổ biến: Hút chân không bay hơi và phún xạ, và lắng đọng hơi nước Arc (hoặc Cathodic Arc)
Deputter Deposition
Sự phún xạ là một quá trình lắng đọng kim loại mà vật liệu mục tiêu không bị bốc hơi bằng cách sử dụng nhiệt, nhưng các nguyên tử kim loại của nó bị tách ra khỏi mục tiêu bởi sự va chạm của một hạt bắn phá. Khoảng cách từ mục tiêu đến phần trong buồng phún xạ ngắn hơn nhiều so với lắng đọng chân không. Sputtering cũng được thực hiện dưới chân không cao hơn nhiều. Bản thân nguồn phát xạ có thể được tạo thành từ các nguyên tố, hợp kim, hỗn hợp hoặc hợp chất. Dạng lắng đọng kim loại này thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, trên kính kiến trúc, lớp phủ phản quang, đĩa CD nhỏ gọn và lớp phủ trang trí.
Giếng hơi
Sự lắng đọng hồ quang học hoặc Arc-PVD là một kỹ thuật lắng đọng hơi vật lý trong đó một vòng cung điện được sử dụng để làm bay hơi vật liệu từ một mục tiêu catốt. Các vật liệu bay hơi sau đó ngưng tụ trên một chất nền, tạo thành một màng mỏng. Kỹ thuật này có thể được sử dụng để gửi các màng kim loại, gốm và composite. Quá trình bay hơi hồ quang bắt đầu với sự nổi bật của một hồ quang điện áp thấp, cao trên bề mặt của một cực âm (được biết đến như là mục tiêu) cho phép tăng lên một nhỏ (thường là một vài micromet rộng), năng lượng cao phát ra khu vực được gọi là một cực âm nơi. Nhiệt độ cục bộ tại điểm âm cực cao (khoảng 15000 ℃), kết quả là chất bay hơi bay hơi cao (10km / giây) của vật liệu catốt bay hơi, để lại một miệng núi lửa phía sau trên bề mặt catôt.
Công nghệ thiết kế và chế tạo thiết bị luyện kim chân không PVD RTAC-SP
phổ biến được sử dụng cho hợp kim kim loại, đồng thau, Zamak (hợp kim kẽm), nhựa, điện tử, đường ống và plumbings, phụ kiện thợ sửa ống nước, van hệ thống tưới nước và mũ; van y tế và công nghiệp vv Mục đích của quá trình này chủ yếu là thay thế Chromium Electroplating gây hại cho con người và môi trường.
Cấu hình và tính năng hệ thống kim loại chân không cao:
| Mô hình | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1615-SPMF |
| Kích thước buồng hiệu quả | Φ1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ1600 x H1500mm |
| Nguồn lắng đọng | Cylinder Arc (vòng cung tròn cho phép tùy chọn) + MF Sputtering Cathode + Nguồn Ion tuyến tính | ||
Hệ thống bơm chân không (Bơm Leybold + Bơm phân tử Turbo) | SV300B - 1 bộ (300m³ / giờ) | SV300B - 1 bộ (300m³ / giờ) | SV300B - 2 bộ (300m³ / giờ) |
WAU1001-1set (1000m³ / giờ) | WAU1001-1set (1000m³ / giờ) | WAU2001-1set (1000m³ / giờ) | |
| D60T- 1 bộ (60m³ / giờ) | D60T- 1 bộ (60m³ / giờ) | D60T- 1 bộ (60m³ / giờ) | |
Bơm phân tử Turbo: 2 bộ (3500L / S) | Bơm phân tử Turbo: 2 bộ (3500L / S) | Bơm phân tử Turbo: 3 bộ (3500L / S) | |
| Cung cấp năng lượng phún xạ | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF) | 3 * 36KW (MF) |
| Cung cấp điện Arc | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
| Cung cấp năng lượng thiên vị | 1 * 24KW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
| Thanh hành tinh | 6/8 | 12/16 | 20 |
| Lò sưởi | 6 * 2.5KW | 8 * 2.5KW | 9 * 2.5KW |
| Chân không cuối cùng | 9,0 * 10-4Pa (trống, sạch, nhiệt độ phòng) | 9,0 * 10-4Pa (trống, sạch, nhiệt độ phòng) | 9,0 * 10-4Pa (trống, sạch, nhiệt độ phòng) |
| Thời gian chu kỳ (phụ thuộc vào bơm) | 40 '~ 50' phụ thuộc vào vật liệu nền và công thức nấu lớp phủ | ||
| Yêu cầu công việc | 3 pha 4 dòng, AC380V, 50Hz, 35KW | 3 pha 4 dòng, AC380V, 50Hz, 120KW | 3 pha 4 dòng, AC380V, 50Hz, 150KW |
| Nước làm mát | CÓ, máy làm lạnh nước công nghiệp | ||
| Chế biến khí (99,99%) | 4 cách | 4 cách | 4 cách |
| Dấu chân (mm) | 2000 * 2000 * 2300 | 4000 * 4500 * 3200 | 5500 * 5000 * 3600 |
| Tổng trọng lượng (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
| Tổng công suất tiêu thụ (xấp xỉ) | 50KW | 110KW | 170KW |
| Tiêu thụ điện năng thực tế (Approx.) | 30KW | 60KW | 80KW |
Các thông số kỹ thuật trên chỉ để tham khảo, Royaltec bảo lưu quyền sản xuất cuối cùng dựa trên các ứng dụng được chỉ định.
Vui lòng tham khảo ý kiến với các giải pháp dự kiến của bạn mà bạn muốn nhận được từ Royaltec, chúng tôi cung cấp các giải pháp lớp phủ chìa khóa trên ứng dụng này.
