Máy sơn bay hơi cảm ứng
Tóm lược:
Induction heating is widely used in different fields due to high process productivity and universality, cleanness and possibility of full automation. Gia nhiệt cảm ứng được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực khác nhau do năng suất và tính phổ quát của quy trình cao, độ sạch và khả năng tự động hóa hoàn toàn. As one method of PVD thermal evaporation technology, the process is friendly for environment. Là một phương pháp của công nghệ bay hơi nhiệt PVD, quy trình này rất thân thiện với môi trường. Since the induction allows reaching temperature of 2000℃ and more, this method is very suitable for industrial production and scientific researches. Vì cảm ứng cho phép đạt đến nhiệt độ 2000oC và hơn thế nữa, phương pháp này rất phù hợp cho sản xuất công nghiệp và nghiên cứu khoa học.
The RTEP0404 Induction Evaporation Coating Machine is designed for C60 evaporating deposition on varies of materials. Máy phủ bay hơi cảm ứng RTEP0404 được thiết kế để lắng đọng bay hơi C60 trên các loại vật liệu khác nhau. C60 manufactures provides R&D and testing results for prospective. Các nhà sản xuất C60 cung cấp R & D và kết quả thử nghiệm cho triển vọng. A strong tool assisting them to expand new applied industries. Một công cụ mạnh mẽ hỗ trợ họ mở rộng các ngành công nghiệp ứng dụng mới.
The first set is produced for Shanghai University. Bộ đầu tiên được sản xuất cho Đại học Thượng Hải. Industrial production model is under processing. Mô hình sản xuất công nghiệp đang được xử lý.
Các ứng dụng chính:
Để lắng đọng các lớp màng mỏng và lớp phủ trên
Kiểu:
Hướng dọc, Mô hình Bell Jar, Mở đầu
Thiết kế Đặc trưng:
Thông số kỹ thuật:
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 9.0 * 10-5 Pa;
Áp suất chân không cơ sở: 3.0 * 10-4 Pa
3. Thời gian bơm xuống: từ 1 atm đến 2.0 × 10-3 25 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Nguồn lắng đọng: thiết bị bay hơi cảm ứng, nồi nấu kim loại
5. Mô hình hoạt động: Thủ công
6. Heating: from room temperature up to max. 6. Làm nóng: từ nhiệt độ phòng đến tối đa. 1000℃, 1000oC,
7. Công suất bay hơi: tần số vô tuyến RF và nguồn điện
8. Khí làm việc: Ar
Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn thành chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng hút chân không
1.1 Kích thước: Đường kính trong 400mm
Chiều cao bên trong: 400mm
1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304
Cấu trúc tăng cường buồng: thép nhẹ SS41, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.
Khung vỏ SS41 thép nhẹ với bề mặt hoàn thiện sơn.
1.3 Khiên bay hơi: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng
1.5 Van thông hơi buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)
2. Hệ thống bơm chân không thô:
Bơm cánh gạt dầu hai tầng
3. Hệ thống bơm chân không cao: Bơm phân tử Turbo
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện- Đơn vị vận hành HMI
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo kiểu nối tiếp
4.2 Sức mạnh bay hơi
4.3 Hệ thống kiểm soát bay hơi
4.4 Hệ thống hoạt động: PLC
4.5 Hệ thống đo lường
Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Máy đo bút
4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, Lưu lượng nước làm mát, Vận hành sai
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5. . Deposition System Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn lắng đọng: thiết bị bay hơi nhiệt cảm ứng
5.2 Vật liệu lắng đọng: C60
6. Tiểu hệ thống
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống đường ống nước và van chuyển đổi
6.3 Khí làm việc: Ar (> 99,99%)
7. Môi trường làm việc
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ trong nước: 20 ~ 25oC, 200 lít / phút,
Áp suất nước: 2 ~ 3 kg / cm2,
Công suất: 3 Pha 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, mức tiêu thụ điện trung bình: 3kVA
Khu vực cài đặt: (L * W * H) 2000 * 200 * 2000mm
Xả: Lỗ thông hơi cho máy bơm cơ
Tự động kéo Thiết bị lên xuống để mở / Đóng buồng
Hệ thống bao vây điện:
Mẹo bảo mật:
Bảo vệ khỏi bức xạ RF
Chúng tôi đã nỗ lực để thiết kế và phát triển hệ thống lớp phủ phù hợp nhất đáp ứng yêu cầu chất lượng sản xuất cao và chất lượng lớp phủ của khách hàng.
Nếu hệ thống lớp phủ tùy chỉnh được yêu cầu bởi công ty của bạn, vui lòng chia sẻ suy nghĩ, ý tưởng của bạn với nhóm của chúng tôi và gửi thông số kỹ thuật sản phẩm của bạn, chúng tôi sẽ làm việc cùng nhau để đưa ra các giải pháp tốt nhất.
