Các ứng dụng:
Máy RTSP1213 là hệ thống phún xạ mô hình hàng loạt, có thể nạp nhiều lớp phủ cứng khác nhau, lớp phủ mềm, màng phức hợp và màng bôi trơn rắn trên bề mặt vật liệu kim loại và phi kim loại. Áp dụng cho các ngành công nghiệp của Hydrogen Fuel Cell phương tiện đi lại, photonics sản phẩm, hàng không vũ trụ và khác năng lượng mới ngành công nghiệp.
Tính chất:
Để cải thiện độ dẫn của bề mặt;
Khả năng chống ăn mòn cao;
Chịu mài mòn cao;
Độ cứng cao
Phim thành phần kỵ nước và các màng chức năng khác
Có sẵn cho lớp phủ hợp chất: phim kim loại và phi kim loại.
Độ dày màng từ 100nm đến 12μm, dung sai độ dày ± 5%
Độ bám dính mạnh mẽ.
Các bộ phận xử lý bề mặt chịu nóng thấp.
Kiểu:
Hướng dọc, cấu trúc đa diện, 2 cửa (trước và sau)
Tính năng, đặc điểm:
Thông sô ky thuật
1. Ultimate áp lực chân không: tốt hơn so với 8.0 * 10 -5 Pa;
3. Thời gian bơm xuống: từ atm đến 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Deposition nguồn: cân bằng / unbalanced sputtering cathodes
5. mô hình hoạt động: đầy đủ tự động / bán tự động / bằng tay
6. Sưởi: từ nhiệt độ phòng đến tối đa. 450 ℃,
7. Plasma làm sạch và Plasma hỗ trợ lắng đọng: Anode Tuyến Tính Ion Nguồn
8. Từ đóng - Loop nộp. (Âm thanh không cân bằng / cân bằng)
9. Cung cấp năng lượng thiên vị cho phát xạ ánh sáng.
Máy hút chân không có chứa hệ thống hoàn thiện chính được liệt kê dưới đây:
1. buồng chân không
1.1 Kích thước: Đường kính bên trong 1200mm
Chiều cao bên trong: 1300mm
1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304
Cửa và mặt bích SUS304
Phòng tăng cường cấu trúc: SS41 thép nhẹ, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.
Buồng tủ SS41 thép nhẹ với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.
1.3 Sputtering Shield: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng - 4 bộ (2 trên mỗi cửa)
1.5 Vacuum Venting Van (bao gồm cả bộ phận giảm thanh)
1.6 Cửa: Chất liệu SUS304
2. Rou ghing Bơm Hút Chân Không Hệ Thống :
Bơm hút chân không quay dầu + Rễ bơm + Bơm (Leybold)
3. Hệ thống bơm chân không cao :
Bơm phân tử treo từ (Leybold)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện - PLC + Màn hình cảm ứng
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo loại
4.2 Nguồn cung cấp phún xạ + Nguồn cung cấp nguồn ion + Cung cấp năng lượng thiên vị (Năng lượng tiên tiến)
4.3 Hệ thống điều khiển lắng đọng phún xạ
4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt máy, tự động sơ tán, sơn tự động
4.5 Hệ thống đo lường
Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Penning gauge + Máy đo chân không toàn dải - Nhãn hiệu châu Âu
Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt điện
MFC: Mass Flow Controller (4 cách), chế độ hiển thị kỹ thuật số - Thương hiệu châu Âu
4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, dòng nước làm mát, hoạt động sai
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5 . Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn lắng đọng: cathodes phún xạ, nguồn ion - thương hiệu Châu Âu
5.2 Vật liệu lắng đọng: Mục tiêu carbon
6. Hệ thống phụ
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống van và ống dẫn lưu lượng nước
7. môi trường làm việc
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ nước: 20 ~ 25 ℃, 200 lít / phút,
Nước trong áp lực: 2 ~ 3 kg / cm2,
Công suất: 3 pha 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, công suất tiêu thụ trung bình: 40KW
Diện tích lắp đặt: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm
Exhaust: Vent cho máy bơm cơ khí
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng gia được vinh danh để cung cấp cho bạn các giải pháp sơn tổng.
