Máy mạ nhôm đồng oxit nhôm, mạ đồng PVD trên tấm gốm, hệ thống lắng đọng đồng

Từ khóa: Mạ đồng trực tiếp, DPC, Mạ đồng, Lớp phủ PVD cứng, Quá trình PECVD, Phim DLC, Kim cương như Carbon phim, Màng phim quang học, Gencoa Magnetron Sputtering Cathode, Nguồn Ion, PA PVD

Tính năng thiết kế RTAC950-SP:

• Tính linh hoạt: nguồn cung hồ quang và phún xạ, các thiết bị nguồn ion tuyến tính gắn bích được chuẩn hóa để trao đổi linh hoạt
• Tính linh hoạt: có sẵn cho nhiều loại tiền gửi của kim loại cơ bản và hợp kim, lớp phủ quang học và lớp phủ cứng, lớp phủ mềm. Phim hợp chất và màng bôi trơn rắn trên bề mặt vật liệu kim loại và phi kim loại
• Thẳng về phía trước thiết kế: cấu trúc 2 cửa, phía trước và phía sau mở để bảo trì dễ dàng

Thông sô ky thuật

• Hiệu suất

1. áp lực chân không cuối cùng: tốt hơn so với 8.0 * 10 ^{- 4} Pa;

• Áp suất chân không cơ bản: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. Thời gian bơm xuống: từ atm đến 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)

4. Deposition nguồn: Gencoa magnetron sputtering cathodes, steered arc cathodes, nguồn Ion

5. mô hình hoạt động: đầy đủ tự động / bán tự động / bằng tay

6. Sưởi: từ nhiệt độ phòng đến tối đa. 500 ℃,

9. Nguồn ion cho quá trình PECVD và PA PVD.

• Kết cấu

Máy hút chân không có chứa hệ thống hoàn thiện chính được liệt kê dưới đây:

1. buồng chân không
1.1 Kích thước: Độ sâu bên trong 950mm

Chiều cao bên trong: 1350mm

1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304

Cửa và mặt bích SUS304

Phòng tăng cường cấu trúc: SS41 thép nhẹ, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.

Buồng tủ SS41 thép nhẹ với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.

1.3 Buồng phòng: SUS304

1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng -2

1.5 Vacuum Venting Van (bao gồm cả bộ phận giảm thanh)

1.6 Cửa: 2 bộ, trước và sau, vật liệu SUS304

2. Roughing Bơm Hút Chân Không Hệ Thống:
Máy bơm chân không quay cánh quạt + Bơm

3. Hệ thống bơm chân không cao:

Bơm phân tử Turbo - 2 bộ

4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện - PLC + Màn hình cảm ứngHệ thống điều khiển:

Các nhà cung cấp:

PLC: Mitsubishi, Kiểu mẫu: FX-IN60MR-001 SERIES

Linh kiện điện tử: SCHNEIDER, OMRON.

Hệ thống bảo vệ an toàn: Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ các nhà khai thác và thiết bị (nước, khí hiện tại, nhiệt độ, vv ..)

Hệ thống xử lý lớp phủ : Quy trình tự động hóa và kiểm soát. Tự động lưu vào bộ nhớ trong 3 tháng. Dữ liệu công thức nấu ăn lớp phủ nổi bật: mục tiêu hoạt động hiện tại / điện áp, Mass Flow, áp lực chân không, nhiệt độ, thời gian sơn được lưu lại cho một phân tích để nâng cao chất lượng lớp phủ.

4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo loại

4.2 Nguồn điện: Công suất phún xạ MF + Nguồn DC Arc + Nguồn cung cấp Bias

4.3 Hệ thống điều khiển lắng đọng

4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt máy, tự động sơ tán, sơn tự động

4.5 Hệ thống đo lường

Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Penning gauge + Máy đo chân không toàn dải - Nhãn hiệu châu Âu

Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt điện
MFC: Mass Flow Controller (4 cách),

4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, dòng nước làm mát, hoạt động sai

4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải

5 . Hệ thống lắng đọng

5.1 Nguồn lắng đọng: Các cực âm phún xạ + Nguồn Arc + Nguồn Ion

5.2 Chất lắng đọng: ITO, Titanium, Chrome, Nhôm, Inox, TiAl, v.v.

6. Hệ thống phụ

6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí

6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống van và ống dẫn lưu lượng nước

7. Môi trường làm việc

Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2

Nước làm mát: Nhiệt độ nước: 20 ~ 25 ℃, 200 lít / phút,
Nước trong áp lực: 2 ~ 3 kg / cm2,

Công suất: 3 pha 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, công suất tiêu thụ trung bình: 60KW

Diện tích lắp đặt: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

Exhaust: Vent cho máy bơm cơ khí

Các ứng dụng

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng gia được vinh danh để cung cấp cho bạn các giải pháp sơn tổng.