Máy hút chân không PVD, Hệ thống và giải pháp lớp phủ PECVD màng mỏng DLC, Thiết bị plasma nguồn ion tuyến tính

Máy phủ chân không PVD / Nhà máy luyện kim chân không / Máy phủ PVD

Thông số kỹ thuật

Máy sơn chân không PVD đi kèm với tất cả các cơ sở, hệ thống điều khiển và thiết bị phụ trợ để lắng đọng nhiều kim loại trên nhiều chất nền, như nhựa, kim loại, galss, gốm, v.v.

Nó được trang bị tùy chọn Ion Bombardment (plasma) mới nhất để chuẩn bị và xử lý trước bộ phận được kim loại hóa: thông qua ứng dụng Ion Bombardment, có thể tăng độ bám dính lên đế của kim loại lắng đọng. Quá trình bắn phá ion được áp dụng trực tiếp trong cùng một chu trình kim loại hóa, trước giai đoạn lắng đọng kim loại. Phần mềm tự động hóa và các hệ thống đảm bảo tính đồng nhất tối đa và hoạt động nhanh chóng.

Máy phủ chân không PVD có thể làm các màu sơn trang trí, như vàng, bạc, nâu, xám, đen, vàng hồng, cà phê, cầu vồng và xanh, ecton.

Các lớp phủ công nghiệp phổ biến được PVD áp dụng là các màng kim loại nguyên chất như Cu, Al, Cr, Au, Ni và các màng ghép như TiN, TiC, TiCN, TiAlN, ZrN, CrN, CrSiN, ZrTiCN, TiAlCN, ZrC, TiALN, DLC, v.v. .

Cấu hình kỹ thuật

• 1 (một) buồng chân không (vỏ kép, lớp giữa để làm mát bằng nước) được làm bằng thép không gỉ, kích thước có thể được tùy chỉnh
• 1 (một) cửa sổ gián điệp để kiểm tra lắng đọng
• 2 (hai) tấm chắn bằng thép không gỉ có thể tháo rời bên trong buồng
• 1 (một) van tiết lưu điện tử trong lỗ bơm của buồng
• 1 (một) khung cơ sở cứng cho buồng
• 1 (một) hệ thống quay phôi vệ tinh đa trục, có thể được di chuyển ra khỏi buồng tích hợp, điều chỉnh tốc độ vô cấp, quay tích cực và tiêu cực
• 1 (một) xe đẩy để di chuyển giá xoay phôi
• Mục tiêu hồ quang điện (A100) và năng lượng hồ quang điện
• 1 (một) Sức mạnh thiên vị
• 1 (một) Nguồn ion làm thiết bị phụ trợ lớp phủ, 1 (một) đặt nguồn DC (5000V / 10KVA)
• 1 (một) Máy đo chân không hợp chất hiển thị kỹ thuật số
• 1 (một) hệ thống bơm chân không bao gồm bơm khuếch tán / bơm phân tử, bơm rễ, bơm cánh gạt quay, đường ống chân không và van, có thể được bơm chân không tự động.
• Bộ điều khiển lưu lượng lớn cho Ar, 02, N2, C2H2
• 1 (một) hệ thống sưởi ấm với ống sưởi hình chữ U, cặp nhiệt điện, bộ điều khiển nhiệt độ, điều khiển PID
• Bộ tách nước để làm mát
• 1 (một) Hệ thống điều khiển điện tử bao gồm điều khiển PLC, màn hình cảm ứng màu, hệ thống báo động và bảo vệ, tủ điều khiển. Thực hiện chu trình làm việc tự động

Ứng dụng:

• Đồng hồ & công nghiệp đồng hồ (dây đeo, vỏ, mặt số, v.v.)
• Công nghiệp phần cứng (thiết bị vệ sinh, tay nắm cửa, tay cầm, khóa, v.v.)
• Công nghiệp xây dựng (tấm thép không gỉ, lan can cầu thang, cột, vv)
• Công nghiệp chính xác (khuôn dập tiêu chuẩn, khuôn hình, vv)
• Công cụ công nghiệp (mũi khoan, hợp kim cứng, dao phay, thổ cẩm, bit công cụ)
• Công nghiệp ô tô (pít-tông, vòng pít-tông, bánh xe hợp kim, v.v.) cũng như bút, kính, v.v., để bề mặt thu được với cả lớp chống mài mòn đẹp và chức năng. Lớp màng phủ chính là: ion vàng, ion bạc, màng titan nitride, màng titan cacbua, màng nitrat zirconium, màng hợp kim nhôm titan, màng crom nitride, màng phủ RP và màng kim loại siêu cứng khác. Các chi tiết gia công được phủ ion sau khi xử lý có thể cải thiện vai trò của độ cứng, chống mài mòn, chống ăn mòn và làm đẹp.