Tên thương hiệu: | ROYAL |
Số mẫu: | RTEP |
MOQ: | 1 tập |
giá bán: | có thể đàm phán |
Điều khoản thanh toán: | L/C, T/T |
Khả năng cung cấp: | 12 bộ mỗi tháng |
Tính năng thiết kế :
Thông sô ky thuật:
1. Áp lực chân không cuối cùng: tốt hơn 5.0 × 10 -6 Torr.
2. Vận hành áp suất chân không: 1,0 × 10 -4 Torr.
3. Thời gian bơm xuống: từ 1 atm đến 1.0 × 10 -4 Torr≤3 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (bay hơi): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu…
5. mô hình hoạt động: đầy đủ tự động / bán tự động / bằng tay
Máy hút chân không có chứa hệ thống hoàn thiện chính được liệt kê dưới đây:
1. buồng chân không
1.1 Kích thước: Đường kính bên trong 1600mm
Chiều cao bên trong: 1600mm
1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304 (SS41 thép nhẹ để lựa chọn)
Cửa và mặt bích SUS304 (SS41 thép nhẹ cho các tùy chọn)
Phòng tăng cường cấu trúc: SS41 thép nhẹ, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.
Buồng tủ SS41 thép nhẹ với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.
1.3 Khiên bay hơi: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng
1.5 Vacuum Venting Van (bao gồm cả bộ phận giảm thanh)
1.6 Cửa: Chất liệu SUS304
2. Hệ thống bơm chân không Rouhging (gói bơm lùi)
3. Hệ thống bơm chân không cao (bơm khuếch tán + thiết bị bẫy lạnh)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện - PLC + Màn hình cảm ứng
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo loại
4.2 Công suất bay hơi: 35kVA
4.3 Hệ thống kiểm soát bay hơi
4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt máy, tự động sơ tán, sơn tự động
4.5 Hệ thống đo áp suất chân không
Máy đo chân không: Pirani + Penning gauge
Cặp nhiệt điện đo: 760 Torr ~ 5 * 10 -4 Torr
4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, dòng nước làm mát, hoạt động sai
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5 . Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn bốc hơi dây tóc vonfram
5.2 Vật liệu bay hơi nhiệt: dây, nhẫn, thanh vv
6. Hệ thống phụ
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống van và ống dẫn lưu lượng nước
6.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Brooks Cryopump cho tùy chọn.
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ nước: 20 ~ 25 ℃, 200 lít / phút,
Nước trong áp lực: 2 ~ 3 kg / cm2,
Công suất: 3 pha 380V 50Hz (60Hz), 140kVA
Diện tích lắp đặt: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700mm
Exhaust: Vent cho máy bơm cơ khí
Khác 2-cửa dọc chân không Metallizing Equipmen t mô hình:
Mô hình | Kích thước (mm) | Substrate Jigs (Số lượng) | Công suất bay hơi (kVA) | Plasma (kVA) | Thời gian chu kỳ | Năng lượng điện |
RTEP1012 | Φ1000xH1200 | 6,8,10 | 20 | 7 | 10 '~ 15' phụ thuộc vào Sản Phẩm | 3 pha / AC380V, 50Hz 3Ph, 220 đến 440V, 60HZ |
RTEP1416 | Φ1400xH1600 | 6, 8,16 | 30 | 7 | ||
RTEP1418 | Φ1400xH1800 | 6,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1616 | Φ1600xH1600 | 8,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1618 | Φ1600xH1800 | 8,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1820 | Φ1800xH2000 | 6 | 40 | 10 | ||
RTEP2022 | Φ2000xH2200 | 10,12,16 | 40 | 10 |