Các ứng dụng:
Máy RTSP1213 là một hệ thống phún xạ mô hình hàng loạt, có thể lắng đọng các lớp phủ cứng khác nhau, lớp phủ mềm, màng ghép và màng bôi trơn rắn trên đế vật liệu kim loại và phi kim loại. Áp dụng cho khảm, các ngành công nghiệp của phương tiện tế bào nhiên liệu hydro, các sản phẩm quang tử, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp năng lượng mới khác.
Tính chất:
Để cải thiện độ dẫn của bề mặt;
Chống ăn mòn cao;
Khả năng chống mòn cao;
Độ cứng cao
Phim thành phần kỵ nước và phim chức năng khác
Có sẵn cho lớp phủ hỗn hợp: màng kim loại và phi kim loại.
Độ dày màng từ 100nm đến 12μm, độ dày dung sai ± 5%
Độ bám dính mạnh.
Thấp ủ phần điều trị bề mặt cứng.
Kiểu:
Hướng dọc, cấu trúc đa diện, 2 cửa (trước và sau)
Đặc trưng:
Thông số kỹ thuật
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 8,0 * 10 -5 Pa;
3. Thời gian bơm xuống: từ atm đến 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Nguồn lắng đọng: catốt cân bằng / không cân bằng
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
6. Làm nóng: từ nhiệt độ phòng đến tối đa. 450oC,
7. Làm sạch plasma và lắng đọng Plasma: Nguồn ion tuyến cực dương
8. Đóng từ tính - Vòng lặp nộp. (Mất cân bằng / catốt cân bằng)
9. Cung cấp năng lượng Bias cho xả phát sáng.
Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn thành chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng hút chân không
1.1 Kích thước: Đường kính trong 1200mm
Chiều cao bên trong: 1300mm
1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304
Cửa và mặt bích SUS304
Cấu trúc tăng cường buồng: thép nhẹ SS41, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.
Khung vỏ SS41 thép nhẹ với bề mặt hoàn thiện sơn.
1.3 Khiên phún xạ: SUS304
1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng - 4 bộ (2 trên mỗi cửa)
1.5 Van thông hơi buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)
1.6 Cửa: Vật liệu SUS304
2. Hệ thống bơm chân không Rou g Breath :
Bơm chân không cánh quạt quay dầu + Bơm rễ + Bơm giữ (Leybold)
3. Hệ thống bơm chân không cao :
Bơm phân tử treo từ tính (Leybold)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện - PLC + Màn hình cảm ứng
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo kiểu nối tiếp
4.2 Cung cấp năng lượng phún xạ + Cung cấp năng lượng ion + Cung cấp năng lượng thiên vị (Năng lượng tiên tiến)
4.3 Hệ thống điều khiển lắng đọng phún xạ
4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt, tự động sơ tán, tự động phủ
4.5 Hệ thống đo lường
Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Máy đo bút + Máy đo chân không toàn dải - Thương hiệu châu Âu
Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt điện
MFC: Bộ điều khiển lưu lượng lớn (4 cách), chế độ hiển thị kỹ thuật số-- Thương hiệu châu Âu
4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, Lưu lượng nước làm mát, Vận hành sai
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5 . Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn lắng đọng: Catốt phún xạ, Nguồn ion - Thương hiệu Châu Âu
5.2 Vật liệu lắng đọng: Mục tiêu carbon
6. Tiểu hệ thống
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống đường ống nước và van chuyển đổi
7. Môi trường làm việc
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ trong nước: 20 ~ 25oC, 200 lít / phút,
Áp suất nước: 2 ~ 3 kg / cm2,
Công suất: 3 Pha 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, tiêu thụ điện trung bình: 40KW
Khu vực cài đặt: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm
Xả: Lỗ thông hơi cho máy bơm cơ
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.