Máy phủ màng mỏng PVD / Máy phủ cứng PVD Thiết bị trên dụng cụ

Lớp phủ cứng, được hình thành bởi các quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD) phản ứng, dựa trên công nghệ plasma, đang được sử dụng rộng rãi trong các ngành công cụ.
Để có được lớp phủ cứng nhất, căng thẳng, chống mài mòn và ăn mòn, nên sử dụng nhiệt độ bề mặt càng cao càng tốt và bắn phá đồng thời bởi các hạt có kích thước nguyên tử năng lượng (mạ Ion) trong quá trình lắng đọng phản ứng. Ví dụ, trong các mũi khoan thép cứng, lớp nền được gia nhiệt đến 450oC hoặc lâu hơn trước khi bắt đầu lắng đọng. Việc gia nhiệt trước này có thể được thực hiện bằng cách bắn phá ion, cũng có thể làm sạch bề mặt, hoặc bằng cách sử dụng các nguồn sưởi ấm khác trong buồng lắng đọng.
Trong quá trình phủ cứng PVD cho các công cụ, nó không thay đổi đáng kể kích thước vật lý của bộ phận.
Khí plasma được sử dụng để lắng đọng phản ứng là hỗn hợp của argon, nitơ và ethyne. Thành phần của các lớp phủ được thay đổi bằng cách thay đổi hỗn hợp khí.

Các nguồn hóa hơi phổ biến nhất cho quá trình mạ ion của các lớp phủ cứng là các nguồn phát ra từ không cân bằng, và các nguồn hóa hơi hồ quang-catot. Sự bắn phá trong quá trình lắng đọng thường đạt được bằng cách áp dụng độ lệch âm (-200 đến -300 volt) cho chất nền và tăng tốc các ion dương lên bề mặt từ plasma. Một tỷ lệ cao của các ion bắn phá vào các nguyên tử lắng đọng là rất quan trọng để làm đậm đặc vật liệu lắng đọng. Trong nguồn phún xạ không cân bằng từ tính, một số nguyên tử phún xạ bị ion hóa; nhưng trong các nguồn hồ quang catot, phần lớn các nguyên tử hóa hơi bị ion hóa. Bởi vì các ion phim này, những người có khối lượng lớn hơn các ion khí, chúng có khả năng làm nổi các bề mặt và làm đậm đặc các bộ phim bằng cách tạo ra nguyên tử.

Lớp phủ công cụ công nghiệp thường có độ dày từ 1,5 đến 4 micron.

Tài liệu tham khảo chung: Hướng dẫn giáo dục về xử lý lớp phủ chân không, được viết bởi Donald M. Mattox, 2009 bởi Hiệp hội máy hút chân không.

Các ứng dụng:

Lớp phủ cứng đang được sử dụng rộng rãi trong lớp phủ trang trí và các công cụ công nghiệp (HSS hoặc HSC
nguyên vật liệu). Các lớp phủ có khả năng chống mòn và ăn mòn cao hơn, để hoàn thành các chức năng của công cụ một cách đáng tin cậy hơn và cho thời gian sử dụng lâu hơn, dài hơn 2-3 lần so với không có lớp phủ nói chung.
Dụng cụ cắt: (Lớp phủ được đề xuất: AlTiN / TiAlN, TiCN và TiN)

Cưa, phay, chèn CNC (sử dụng tiện cứng), khoan, hobbing và cắt bánh răng, vv
Đấm & Tạo hình (Lớp phủ được đề xuất: CrN, TiCN và TiN)
Kim loại dập
Đúc (Khuôn ép nhựa) - (Lớp phủ được đề xuất: TiCN và TiN)
Đúc chết
Linh kiện chính xác
Những người khác, như: máy công cụ, máy texitile, sơn lại, ứng dụng mài lại, v.v.

Mô tả máy màng mỏng

1. Hệ thống thiết bị RT-HAC bao gồm: buồng chân không, bơm chân không, nguồn hồ quang, trục chính & kích, cấu trúc đồ gá, hệ thống sưởi & làm mát, nước & khí (phân phối), hệ thống điều khiển và vận hành điện, v.v.
2. Ứng dụng: lớp phủ chức năng công nghiệp cho các công cụ cứng.
3. Phim hợp tác: TiN, TiC, CrN, AlTiN, v.v.
4. Ưu điểm liên kết: độ cứng cao, chống mài mòn và ăn mòn, tăng tuổi thọ công cụ và cải thiện chất lượng phôi. "

PVD (lắng đọng hơi vật lý) là một công nghệ xử lý bề mặt tiên tiến và được sử dụng rộng rãi trên thế giới hiện nay. Nó thực sự có thể có được lớp phủ micromet và xử lý bề mặt môi trường không ô nhiễm. Ở trạng thái chân không, vật liệu phủ được hóa hơi bằng phương pháp vật lý ion và lắng đọng thành một lớp phủ trên bề mặt sản phẩm.
Tính năng mạ PVD:

(1) độ bám dính tuyệt vời: Lớp phủ PVD có độ bám dính và độ bền cao. Nó có thể được áp dụng để uốn ở các góc khác nhau mà không bị nứt hoặc nứt. Nó có thể được sử dụng cho trang trí bên trong và bên ngoài.
(2) chống oxy hóa, chống ăn mòn: tính chất hóa học ổn định, trong môi trường bình thường, trong nhà và ngoài trời có thể chống oxy hóa, không dễ phai màu, duy trì độ bóng của kim loại.
(3) tăng độ cứng bề mặt: độ cứng của màng được đo bằng Micro, lên tới HV2250
Loại và độ dày của lớp phủ
(1) các loài của lớp phủ:
Công nghệ phủ PVD có thể chuẩn bị màng nitride (TiN [vàng titan), ZrN [zirconium gold], CrN, TiAlN] và màng cacbua (TiC, TiCN) và màng oxit (TiO, v.v.).
(2) độ dày của lớp màng:
Độ dày của màng là micromet, và độ dày của màng phủ thường là 0,3 um ~ 0,5 mu

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.