Máy lắng đọng phún xạ magnetron kim loại nguyên chất DC, Máy lắng cặn dạng sợi siêu mỏng Đồng / Bạc / vàng / than chì
Màn biểu diễn
1. Áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 5,0 × 10-6Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1,0 × 10-4Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1,0 × 10-4Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và buồng trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr v.v.
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
Kết cấu
Máy sơn chân không có chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng chân không
2. Hệ thống bơm chân không thô (Gói bơm dự phòng)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở phụ trợ (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng
Máy sơn phún xạ đồng Các tính năng chính
1. Được trang bị 8 cực âm hồ quang chỉ đạo và cực âm phún xạ DC, cực âm phún xạ MF, đơn vị nguồn Ion.
2. Có sẵn lớp phủ nhiều lớp và đồng lắng đọng
3. Nguồn ion để xử lý sơ bộ làm sạch plasma và hỗ trợ lắng đọng chùm tia ion để tăng cường độ bám dính của màng.
4. Đơn vị nung nóng đế gốm / Al2O3 / AlN;
5. Hệ thống quay và cách mạng bề mặt, cho lớp phủ 1 mặt và lớp phủ 2 mặt.
Nhà máy phủ phún xạ Cooper Magnetron trên chất nền bức xạ gốm
Quy trình DPC - Đồng mạ trực tiếp là một công nghệ phủ tiên tiến được áp dụng cho các ngành công nghiệp LED / bán dẫn / điện tử.Một ứng dụng điển hình là Chất nền bức xạ gốm.
Lắng đọng màng dẫn điện Cooper trên đế Al2O3, AlN bằng công nghệ phún xạ chân không PVD, so với phương pháp sản xuất truyền thống: DBC LTCC HTCC, chi phí sản xuất thấp hơn nhiều do tính năng cao.
Đội ngũ công nghệ Hoàng gia đã cam kết với khách hàng của chúng tôi để phát triển thành công quy trình DPC với công nghệ phún xạ PVD.
Máy RTAC1215-SP thiết kế dành riêng cho Lớp phủ màng dẫn điện Đồng trên chip Ceramic, board mạch gốm.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hân hạnh được cung cấp các giải pháp tổng thể về sơn phủ cho bạn.
