Từ khóa: Sản phẩm nhôm mạ trực tiếp, quy trình PECVD , màng DLC, màng carbon như kim cương, phim quang học phún xạ, Cathode phún xạ Gencoa, Nguồn ion, PA PVD

Các tính năng thiết kế RTAC950-SP:

• Tính linh hoạt: nguồn hồ quang và phún xạ, thiết bị nguồn ion tuyến tính lắp mặt bích được chuẩn hóa để trao đổi linh hoạt
• Tính linh hoạt: có sẵn để ký gửi nhiều loại kim loại cơ bản và hợp kim, lớp phủ quang học, lớp phủ mềm. Màng tổng hợp và màng bôi trơn rắn trên đế vật liệu kim loại và phi kim
• Thiết kế thẳng về phía trước: cấu trúc 2 cửa, mở trước và sau để bảo trì dễ dàng

Thông số kỹ thuật

• Hiệu suất

1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 8,0 * 10 ^{- 4} Pa;

• Áp suất chân không cơ sở: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. Thời gian bơm xuống: từ atm đến 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)

4. Nguồn lắng đọng: catốt phún xạ Gencoa, catốt hồ quang được điều khiển, nguồn ion

5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công

6. Làm nóng: từ nhiệt độ phòng đến tối đa. 500oC,

9. Nguồn ion cho quá trình PECVD và PA PVD.

• Kết cấu

Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn thành chính được liệt kê dưới đây:

1. Buồng hút chân không
Kích thước 1.1: Độ sâu bên trong 950mm

Chiều cao bên trong: 1350mm

1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304

Cửa và mặt bích SUS304

Cấu trúc tăng cường buồng: thép nhẹ SS41, với xử lý bề mặt hoàn thiện sơn.

Khung vỏ SS41 thép nhẹ với bề mặt hoàn thiện sơn.

1.3 Khiên buồng: SUS304

1.4 Cửa sổ xem: trên cửa buồng -2

1.5 Van thông hơi buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)

1.6 Cửa: 2 bộ, trước và sau, chất liệu SUS304

2. Hệ thống bơm chân không thô:
Bơm chân không cánh quạt quay dầu + Bơm giữ

3. Hệ thống bơm chân không cao:

Bơm phân tử Turbo - 2 bộ

4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện- PLC + Hệ thống màn hình cảm ứng:

Các nhà cung cấp:

PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERIES

Linh kiện điện tử: SCHNEIDER, OMRON.

Hệ thống bảo vệ an toàn: Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị (nước, khí hiện tại, nhiệt độ, v.v.)

Hệ thống xử lý lớp phủ : Quá trình tự động hóa & điều khiển. Tự động lưu trong bộ nhớ trong 3 tháng. Dữ liệu công thức lớp phủ nổi bật: dòng điện / điện áp hoạt động mục tiêu, Lưu lượng lớn, Áp suất chân không, nhiệt độ, thời gian phủ được lưu lại để phân tích nhằm nâng cao chất lượng lớp phủ.

4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, C / T theo kiểu nối tiếp

4.2 Cung cấp năng lượng: Công suất phún xạ MF + Nguồn DC Arc + Cung cấp năng lượng thiên vị

4.3 Hệ thống kiểm soát lắng đọng

4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt, tự động sơ tán, tự động phủ

4.5 Hệ thống đo lường

Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Máy đo bút + Máy đo chân không toàn dải - Thương hiệu châu Âu

Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt điện
MFC: Bộ điều khiển lưu lượng lớn (4 cách),

4.6 Hệ thống báo động: Áp suất khí nén, Lưu lượng nước làm mát, Vận hành sai

4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải

5 . Hệ thống lắng đọng

5.1 Nguồn lắng đọng: catốt phún xạ + Nguồn hồ quang + Nguồn ion

5.2 Vật liệu lắng đọng: ITO, Titanium, Chrome, Nhôm, Thép không gỉ, TiAl, v.v.

6. Tiểu hệ thống

6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí

6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống đường ống nước và van chuyển đổi

7. Môi trường làm việc

Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2

Nước làm mát: Nhiệt độ trong nước: 20 ~ 25oC, 200 lít / phút,
Áp suất nước: 2 ~ 3 kg / cm2,

Công suất: 3 Pha 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, tiêu thụ điện trung bình: 60KW

Khu vực cài đặt: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

Xả: Lỗ thông hơi cho máy bơm cơ

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.