Nhà máy sơn phủ Magnet Magnetron trên chất nền bức xạ gốm
Quá trình DPC - Direct Plating Copper là một công nghệ phủ tiên tiến được áp dụng với các ngành công nghiệp LED / bán dẫn / điện tử. Một ứng dụng điển hình là Chất nền bức xạ gốm.
Lắng đọng màng dẫn điện Cooper trên Al2O3, AlN, Si, Chất nền thủy tinh bằng công nghệ phún xạ chân không PVD, so với các phương pháp sản xuất truyền thống: DBC LTCC HTCC, các tính năng:
1. Chi phí sản xuất thấp hơn nhiều.
2. Quản lý nhiệt xuất sắc và hiệu suất truyền nhiệt
3. Căn chỉnh chính xác và thiết kế mẫu,
4. Mật độ mạch cao
5. Độ bám dính và hàn tốt
Đội ngũ công nghệ hoàng gia đã hỗ trợ khách hàng của chúng tôi phát triển quy trình DPC thành công với công nghệ phún xạ PVD.
Do hiệu suất nâng cao, chất nền DPC được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng khác nhau:
Đèn LED độ sáng cao để tăng thời gian sử dụng lâu vì hiệu suất bức xạ nhiệt cao, thiết bị bán dẫn, liên lạc không dây vi sóng, điện tử quân sự, chất nền cảm biến khác nhau, hàng không vũ trụ, vận tải đường sắt, năng lượng điện, vv
Thiết bị RTAC1215-SP được thiết kế dành riêng cho quy trình DPC lấy lớp đồng trên đế. Thiết bị này sử dụng nguyên lý lắng đọng hơi vật lý PVD, với kỹ thuật mạ ion đa hồ quang và kỹ thuật phún xạ từ trường để có được màng lý tưởng với mật độ cao, chống mài mòn cao, độ cứng cao và liên kết mạnh trong môi trường chân không cao. Đây là bước quan trọng cho quá trình DPC nghỉ ngơi.
Máy phun sơn đồng
1. Được trang bị 8 catốt hồ quang chỉ đạo và Cathodes phún xạ DC, Cathodes phún xạ MF, Đơn vị nguồn ion.
2. Lớp phủ đa lớp và đồng lắng có sẵn
3. Nguồn ion để làm sạch trước khi xử lý plasma và lắng đọng bằng tia ion để tăng cường độ bám dính của màng.
4. Chất nền gốm / Al 2 O 3 / AlN làm nóng đơn vị;
5. Chất nền xoay và hệ thống cách mạng, cho lớp phủ 1 mặt và lớp phủ 2 mặt.
Thông số kỹ thuật máy phun sơn đồng
Hiệu suất
1. Áp suất chân không tối đa: tốt hơn 5.0 × 10 - 6 Torr.
2. Áp suất chân không hoạt động: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Thời gian bơm: từ 1 atm đến 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Vật liệu kim loại hóa (phún xạ + bay hơi hồ quang): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, v.v.
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
Kết cấu
Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn thành chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng hút chân không
2. Hệ thống bơm chân không rầm rộ (Gói bơm lùi)
3. Hệ thống bơm chân không cao (Bơm phân tử treo từ tính)
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện
5. Hệ thống cơ sở vật chất (Hệ thống phụ)
6. Hệ thống lắng đọng
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Royal Technology hân hạnh cung cấp cho bạn các giải pháp phủ tổng thể.
