Mạ đồng trực tiếp DPC trên gốm sứ, bảng mạch Al2O3 / AlN Máy lắng đồng

DPC Sơn đồng trực tiếp trên gốm, Al2O3 / AlN Circuit Boards Copper Deposition Machine

Hiệu suất

1. áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 5,0 × 10^-6Torr.

2. áp suất chân không hoạt động: 1,0 × 10^-4Torr.

3. Thời gian bơm xuống: từ 1 atm đến 1,0 × 10^-4Thức nóng ≤ 3 phút (nhiệt độ phòng, khô, sạch và trống không)

4- Vật liệu kim loại hóa (phát xạ + bay hơi cung): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vv

5. Mô hình hoạt động: đầy đủ tự động / bán tự động / thủ công

Cấu trúc

Máy sơn chân không chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:

1Phòng chân không.

2. Hệ thống bơm chân không thô (Backup Pump Package)

3Hệ thống bơm chân không cao (bơm phân tử treo từ tính)

4Hệ thống điều khiển và vận hành điện

5Hệ thống cơ sở phụ trợ (hệ hạ)

6Hệ thống đặt hàng

Máy sơn đun sạc đồng Đặc điểm chính

1. Được trang bị 8 ống dẫn cung và DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, đơn vị nguồn ion.

2. đa lớp và lớp phủ đồng lắng đọng có sẵn

3. Nguồn ion để xử lý trước làm sạch plasma và lắng đọng hỗ trợ tia ion để tăng độ dính của phim.

4- Đơn vị làm nóng chất nền gốm/Al2O3/AlN;

5. Hệ thống xoay và xoay vòng của nền, cho lớp phủ 1 mặt và lớp phủ 2 mặt.

Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant trên lớp nền chiếu sáng gốm

Quá trình DPC- Direct Plating Copper là một công nghệ lớp phủ tiên tiến được áp dụng với các ngành công nghiệp LED / bán dẫn / điện tử.

Sự lắng đọng màng dẫn Cooper trên chất nền Al2O3, AlN bằng công nghệ phun chân không PVD, so với các phương pháp sản xuất truyền thống: DBC LTCC HTCC,chi phí sản xuất thấp hơn nhiều là tính năng cao của nó.

Nhóm công nghệ Hoàng gia hỗ trợ khách hàng của chúng tôi phát triển quy trình DPC thành công với công nghệ phun PVD.

Máy RTAC1215-SP được thiết kế độc quyền cho lớp phủ phim dẫn đồng trên chip gốm, bảng mạch gốm.

Lớp phủ PVD hoạt động như thế nào?

Kim loại rắn được bay hơi hoặc ion hóa trong môi trường chân không cao và lắng đọng trên các vật liệu dẫn điện dưới dạng một kim loại tinh khiết hoặc các tấm hợp kim kim loại.oxy hoặc khí hydrocarbon được đưa vào hơi kim loại, nó tạo ra lớp phủ nitride, oxit hoặc carbide khi dòng hơi kim loại, phản ứng hóa học với các khí.Lớp phủ PVD phải được thực hiện trong một buồng phản ứng chuyên biệt để vật liệu bay hơi không phản ứng với bất kỳ chất gây ô nhiễm nào có thể có trong phòng..

Trong quá trình sơn PVD, các thông số quy trình được theo dõi và kiểm soát chặt chẽ để làm cho độ cứng, độ dính, khả năng chống hóa học, cấu trúc phim,và các thuộc tính khác được lặp lại cho mỗi lần chạyCác lớp phủ PVD khác nhau được sử dụng để tăng khả năng chống mòn, giảm ma sát, cải thiện ngoại hình và đạt được các cải tiến hiệu suất khác.

Để lắng đọng các vật liệu tinh khiết cao như titan, crôm, hoặc zirconium, bạc, vàng, nhôm, đồng, thép không gỉ,quá trình vật lý của lớp phủ PVD sử dụng một trong một số phương pháp lớp phủ PVD khác nhaubao gồm:

Khử hơi cung

Khử hơi nhiệt

DC/MF sputtering ((việc ném bom các ion)

Sự lắng đọng chùm ion

Ống mạ ion

Tăng cường phun thuốc

Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng gia được vinh dự để cung cấp cho bạn các giải pháp sơn tổng thể.