|
| Tên thương hiệu: | ROYAL |
| Số mẫu: | RTSP |
| MOQ: | 1 tập |
| Khả năng cung cấp: | 10 BỘ MỖI THÁNG |
Máy sơn bột tantali PVD, phim tantali được lắng đọng bằng DC Magnetron Sputtering, PVD Tantal Plating
Tantalum được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành công nghiệp điện tử và làm lớp phủ bảo vệ trong nhiều ngành công nghiệp vì khả năng chống xói mòn tốt.
Phim tantalum phun được sử dụng rộng rãi trong
1. Ngành công nghiệp vi điện tử vì các bộ phim có thể được phun phản ứng và do đó có thể kiểm soát điện trở và hệ số nhiệt độ của điện trở;
2Các dụng cụ y tế như cấy ghép cơ thể vì tính tương thích sinh học cao của nó;
3. Lớp phủ trên các bộ phận chống ăn mòn, chẳng hạn như thermwells, thân van và các vật liệu buộc;
Sputtered tantalum cũng có thể được sử dụng như là một rào cản chống ăn mòn hiệu quả nếu lớp phủ là liên tục, bị hư hỏng và dính vào chất nền được dự định để bảo vệ.
RTAS1000 Ưu điểm kỹ thuật
1. Plug-in Hệ thống thiết kế tích hợp để lắp đặt nhanh chóng
2. Siemens PLC,CPU; với máy tính công nghiệp & phần cứng điều khiển
3Có sẵn để theo dõi và chẩn đoán từ xa.
4- Dễ dàng, sẵn sàng để nâng cấp
5. Nhiều cathode cho tốc độ lắng đọng nhanh
Thêm nhiều lợi ích từ máy:
Thiết kế mạnh mẽ, chất lượng ổn định, chu kỳ nhanh, thời gian chu kỳ nhanh, tốc độ lắng đọng cao
| Cấu hình chính | |
| Mô hình | RTAS1000 |
| Công nghệ | DC magnetron sputtering + Cathodic arc plating |
| Thiết bị phòng | Thép không gỉ (S304) |
| Kích thước phòng | Φ1000*1000mm (H) |
| Loại phòng | Hình D, buồng hình trụ |
| ROTATION RACK & JIG SYSTEM | Hệ thống điều khiển bằng vệ tinh hoặc hệ thống điều khiển trung tâm |
| Các nguồn cung cấp điện | DC Sputtering nguồn cung cấp: 2 ~ 4 bộ Bias nguồn cung cấp: 1 bộ Arc nguồn cung cấp: 11 bộ |
| Vật liệu nộp đơn | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu vv |
| Nguồn gửi tiền |
Đường phẳng Sputtering Cathodes + vòng cung cathodes Lưu ý: máy phun DC hình trụ có sẵn |
| Kiểm soát | PLC ((Điều khiển logic có thể lập trình) + Màn hình cảm ứng (hướng dẫn + tự động + mô hình hoạt động bán tự động) |
| Hệ thống bơm | Máy bơm vòng xoay: SV300B - 1 bộ (Leybold) |
| Máy bơm rễ: WAU1001 - 1 bộ (Leybold) | |
| Máy bơm giữ: D60C - 1 bộ (Leybold) | |
| Máy bơm phân tử trục từ: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Máy kiểm soát dòng chảy khối lượng khí | 4 kênh, Made in China, Seven Star (CS series, ) mô hình kỹ thuật số (Ar, N2, O2, C2H2) |
| VACUUM GAGE | Mô hình: ZDF-X-LE, được sản xuất tại Trung Quốc |
| Hệ thống an toàn | Nhiều khóa an toàn để bảo vệ các nhà điều hành và thiết bị |
| Sưởi ấm | Máy sưởi: 20KW. Max. temp.: 450 °C |
| Làm mát | Máy làm mát công nghiệp (nước lạnh) |
| POWER MAX. | 100KW (khoảng.) |
| tiêu thụ điện trung bình | 45 KW (khoảng) |
| Trọng lượng tổng | T (khoảng) |
| Dấu chân | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
| Sức mạnh điện | Đường AC 380V/3 pha/50HZ / 5 |
Đường ống dẫn ống phun hình trụ Đường ống dẫn phơi phơi
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng gia được vinh dự để cung cấp cho bạn các giải pháp sơn tổng thể.
Tải xuống brochure, vui lòng nhấp vào đây:Hệ thống lắng đọng Magnetron Sputtering.pdf
Ứng dụng hệ thống Magnetron Sputtering...
