Bạc mạ trực tiếp PVD trên bộ lọc điện môi gốm là công nghệ phủ tiên tiến được áp dụng với trạm gốc 5G và các chất bán dẫn khác cho ngành công nghiệp điện tử.Một ứng dụng điển hình là Chất nền bức xạ gốm.Lắng đọng màng dẫn điện Bạc/Đồng trên đế Nhôm Oxit (Al2O3), AlN bằng công nghệ phún xạ chân không PVD, trên hết có một ưu điểm lớn so với các phương pháp sản xuất truyền thống: DBC LTCC HTCC, với chi phí sản xuất thấp hơn nhiều.Đội ngũ của Royal Technology đã hợp tác với khách hàng của chúng tôi để phát triển thành công quy trình Mạ bạc PVD với công nghệ phún xạ có thể thay thế quy trình chải bạc lỏng thông thường.
Các ứng dụng tiêu biểu
Chỉ nêu tên một số, để biết thêm các ứng dụng, vui lòng liên hệ với Royal Tech.
Hệ thống phún xạ hàng loạt RTAS1215 là phiên bản nâng cấp, hệ thống mới nhất có một số ưu điểm:
Quy trình hiệu quả cao hơn
1. Lớp phủ hai mặt có sẵn theo thiết kế cố định doanh thu
2. Lên đến 8 mặt bích catốt phẳng tiêu chuẩn cho nhiều nguồn
3. Công suất lớn lên tới 2,2 ㎡ chip gốm mỗi chu kỳ
4. Tự động hóa hoàn toàn, PLC + Màn hình cảm ứng, hệ thống điều khiển ONE-touch
Chi phí sản xuất thấp hơn
1. Được trang bị 2 bộ máy bơm phân tử treo từ tính, thời gian khởi động nhanh, bảo trì miễn phí
2. Công suất sưởi tối đa
3. Hình dạng buồng hình bát giác để sử dụng không gian tối ưu, lên đến 8 nguồn hồ quang và 4 cực âm phún xạ để lắng đọng nhanh các lớp phủ
Thông số kỹ thuật
Mô hình: RTSP-Ag1215
Chiều cao buồng (mm): 1500
Đường kính buồng (mm): φ1200
Mặt bích gắn Cathodes phún xạ: 4
Mặt bích gắn nguồn ion: 1
Mặt bích gắn cực âm hồ quang: 8
Vệ tinh (mm): 16 x Φ150
Công suất phân cực xung (KW): 36
Công suất phún xạ (KW): DC36 + MF36
Công suất hồ quang(KW): 8 x 5
Công suất nguồn ion (KW): 5
Công suất sưởi ấm (KW): 36
Chiều cao lớp phủ hiệu quả (mm): 1020
Bơm phân tử treo từ tính: 2 x 3300 L/S
Bơm Rễ: 1 x 1000m³/h
Bơm cánh gạt quay: 1 x 300m³/h
Bơm giữ: 1 x 60m³/h
Công suất: 2.2 ㎡
Diện tích lắp đặt (L x W x H) mm: 4200*6000*3500
nội bộ
Thời gian xây dựng: Từ năm 2016
Số lượng: 3 bộ
Vị trí: Trung Quốc
So với nhu cầu lớn của thị trường, năng suất của hệ thống hàng loạt thấp;chúng tôi đã tận tâm phát triển hệ thống phún xạ nội tuyến (tiếp tục phún xạ dòng lắng đọng) với các thiết bị tải/dỡ robot tự động.Bất cứ ai quan tâm đến hệ thống này, vui lòng liên hệ với kỹ thuật viên của chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật.
