|
| Tên thương hiệu: | ROYAL TECHNOLOGY |
| Số mẫu: | RT-R2R |
| MOQ: | 1 |
| giá bán: | có thể đàm phán |
| Điều khoản thanh toán: | L/C,T/T |
| Khả năng cung cấp: | 4 sets/month |
Hệ thống phun rác rọc là một loại thiết bị sản xuất được sử dụng để lắng đọng các bộ phim mỏng trên nền linh hoạt được tiếp tục cung cấp từ cuộn này sang cuộn khác.Hệ thống này thường được sử dụng trong các ngành như điện tử, quang học và bao bì cho các ứng dụng như lớp phủ, pin mặt trời và điện tử linh hoạt.
Trong hệ thống này, một buồng chân không được sử dụng để lắng đọng các bộ phim mỏng trên một mạng vật liệu chuyển động.Sputtering là một quá trình mà các nguyên tử hoặc phân tử được phóng ra từ một vật liệu mục tiêu rắn do việc bắn phá mục tiêu bởi các hạt năng lượngCác nguyên tử hoặc phân tử bị đẩy ra sau đó tạo thành một lớp mỏng trên chất nền.
Hệ thống Sputtering chân không Roll-to-Roll Web thường bao gồm các thành phần như:
Phòng chân không: Đây là nơi quá trình phun phun diễn ra trong điều kiện chân không được kiểm soát.
Hệ thống xử lý chất nền: Hệ thống này điều khiển chuyển động của chất nền linh hoạt thông qua quá trình phun.
Thủy tinh trùng cathode với mục tiêu kim loại: Đây là các vật liệu mà từ đó các nguyên tử hoặc phân tử được phun để tạo thành màng mỏng trên chất nền.
Các nguồn cung cấp điện: Chúng cung cấp năng lượng cần thiết cho quá trình phun.
Hệ thống cung cấp khí: Hệ thống này cung cấp các khí cần thiết cho quá trình phun.
Hệ thống kiểm soát: Nó kiểm soát các thông số quy trình như tốc độ lắng đọng, độ dày phim và đồng nhất.
Hệ thống Sputtering chân không Roll-to-Roll Web cung cấp những lợi thế như thông lượng cao, khả năng mở rộng và khả năng phủ các vùng lớn bằng các tấm mỏng.Nó phù hợp với sản xuất hàng loạt các vật liệu phim mỏng trên nền linh hoạt.
Trong một hệ thống phun rắc không khí Roll-to-Roll Web, nhiều loại mục tiêu phun rắc có thể được sử dụng tùy thuộc vào các tính chất mong muốn và ứng dụng của các phim mỏng được lắng đọng.Một số loại mục tiêu phun phổ biến bao gồm::
Mục tiêu kim loại: Chúng được làm bằng kim loại tinh khiết hoặc hợp kim kim loại và thường được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng kim loại. Ví dụ bao gồm nhôm, đồng, vàng, bạc, titan,và mục tiêu thép không gỉ.
Các mục tiêu oxit: Những mục tiêu này bao gồm các oxit kim loại và được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng oxit. Ví dụ bao gồm các mục tiêu oxit Indium Tin (ITO), oxit kẽm (ZnO) và oxit tantalum (Ta2O5).
Các mục tiêu nitride: Những mục tiêu này được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng nitride. Ví dụ bao gồm các mục tiêu titan nitride (TiN) và aluminium nitride (AlN).
Các mục tiêu silicit: Những mục tiêu này bao gồm các silicit kim loại và được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng silicit.
Mục tiêu sulfure: Những mục tiêu này được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng sulfure.
Các mục tiêu tổng hợp: Những mục tiêu này được tạo thành từ nhiều vật liệu và được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng có tính chất cụ thể.một mục tiêu có thể là sự kết hợp của kim loại và vật liệu gốm cho các thành phần phim độc đáo.
Các mục tiêu hợp kim: Những mục tiêu này được làm bằng các thành phần hợp kim và được sử dụng để lắng đọng các tấm mỏng hợp kim với các tính chất cụ thể.và mục tiêu hợp kim cobalt-chromium (CoCr).
Việc lựa chọn mục tiêu phun phụ thuộc vào các yếu tố như thành phần phim mong muốn, độ dày, cấu trúc và tính chất.Bằng cách sử dụng các loại mục tiêu phun khác nhau trong hệ thống phun chân không Roll-to-Roll Web, một loạt các vật liệu màng mỏng có thể được lắng đọng cho các ứng dụng khác nhau trong các ngành công nghiệp như điện tử, quang học, năng lượng và nhiều hơn nữa.
Ứng dụng:
Giấy điện tử, mạch linh hoạt, quang điện, dải y tế, RFID (định dạng tần số vô tuyến) và phim Low-E, lớp phủ phim mỏng ITO
Quá trình lắng đọng rắc rối rắc rối (R2R) cung cấp một phương pháp linh hoạt và có thể mở rộng để lắng đọng các phim mỏng trên các chất nền linh hoạt liên tục.
Công nghệ này tìm thấy một loạt các ứng dụng trên các ngành công nghiệp khác nhau do khả năng phủ các vùng lớn với tốc độ cao với các tấm mỏng của các vật liệu khác nhau.
Một số ứng dụng phổ biến của R2R web sputtering bao gồm:
Điện tử linh hoạt: R2R web sputtering được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các thiết bị điện tử linh hoạt như màn hình linh hoạt, thẻ RFID, thẻ thông minh và thiết bị điện tử đeo.Nó cho phép lắng đọng các transistor màng mỏng, điện cực dẫn điện, và lớp rào cản trên nền linh hoạt.
Các tế bào năng lượng mặt trời: Các tế bào năng lượng mặt trời màng mỏng được hưởng lợi từ R2R web sputtering để lắng đọng các lớp bán dẫn hoặc hấp thụ như silicon amorphous, cadmium telluride và
đồng indium gallium selenide (CIGS) trên nền linh hoạt. công nghệ này cho phép sản xuất hiệu quả về chi phí và hiệu suất cao của các thiết bị quang điện màng mỏng.
Phim rào cản: R2R web sputtering được sử dụng để lắng đọng các phim rào cản với các tính chất rào cản khí tuyệt vời trên các chất nền linh hoạt để bảo vệ vật liệu nhạy cảm khỏi độ ẩm, oxy,và các yếu tố môi trường khácNhững bộ phim rào cản này tìm thấy các ứng dụng trong bao bì, điện tử và hiển thị.
Lớp phủ trang trí: R2R đun đục được sử dụng trong sản xuất lớp phủ trang trí trên nền linh hoạt cho các ứng dụng trong trang trí ô tô, điện tử tiêu dùng,và kính kiến trúcCác vật liệu như lớp kim loại, lớp phủ oxit và lớp phủ can thiệp đa lớp có thể được áp dụng bằng kỹ thuật này.
Các cảm biến linh hoạt: R2R web sputtering cho phép lắng đọng các yếu tố cảm biến màng mỏng trên nền linh hoạt cho các ứng dụng trong các cảm biến đeo, thiết bị chăm sóc sức khỏe và ứng dụng IoT.Các cảm biến như cảm biến nhiệt độ, cảm biến độ ẩm và cảm biến khí có thể được chế tạo bằng công nghệ này.
Phim quang học: R2R sputtering được sử dụng để lắng đọng lớp phủ quang học trên nền linh hoạt cho các ứng dụng trong lớp phủ chống phản xạ, lớp phủ phản xạ, bộ lọc quang học,và bộ lọc màu được sử dụng trong màn hình, ống kính và thiết bị quang học.
Tích hợp điện tử in: R2R web sputtering có thể được tích hợp với các quy trình điện tử in để tạo ra các thiết bị lai với cả các thành phần in và bột.
Sự tích hợp này cho phép sản xuất các thiết bị điện tử hiệu quả về chi phí và chức năng trên nền linh hoạt.
Nhìn chung, tính linh hoạt và khả năng mở rộng của công nghệ lắng đọng R2R web sputtering làm cho nó phù hợp với một loạt các ứng dụng trong các ngành công nghiệp như điện tử, năng lượng, đóng gói, quang học,và cảm biến, nơi mà các tấm mỏng trên nền linh hoạt là cần thiết.
Định dạng máy R2R
| MultiWeb Coater cung cấp các tính năng chính sau: | ||||||||
| A. Một buồng được chia thành các vùng áp suất đa để chứa các nguồn lắng đọng khác nhau. | ||||||||
| B. Khả năng lắng đọng đồng thời nhiều nguồn trong một đường truyền web, cho lớp phủ đa lớp. | ||||||||
| C. Hướng xoay web đảo ngược cho phép lắng đọng các lớp không giới hạn mà không phá vỡ chân không. | ||||||||
| D. Cơ chế xử lý web chính xác với hướng dẫn cạnh để cho phép nhiều lần vượt qua mà không mất sự sắp xếp. (Dịch chọn) | ||||||||
| E. Hệ thống ổ web AC Invert để điều khiển chính xác nhiều tốc độ web. | ||||||||
| F. Hệ thống giám sát độ dày quang và/hoặc kháng cự trực tuyến, để kiểm soát độ dày và sự đồng nhất chính xác của trầm tích (không cần thiết). | ||||||||
| G. Phòng được chế tạo từ SUS304L Stainless với các thành phần khí thải thấp để đảm bảo chân không sâu hơn. | ||||||||
| H. Bơm chân không bằng sự kết hợp của máy bơm phân tử turbo và nhiệt độ thấp cryogenics, để cung cấp chân không sạch mà không có độ ẩm hoặc ô nhiễm dầu. | ||||||||
| Bộ phim lưu trữ | ||||||||
| 1- Vật liệu nền: PET, PEN, PES, PI, PC, PA, TAC... | ||||||||
| 2Độ dày của chất nền: 15 ~ 300μm | ||||||||
| 3Phương pháp lắng đọng: AC phản ứng cho SiO2 ((Dielectric); DC xung cho ITO (Thép & dẫn) | ||||||||
| 4. TCO dẫn oxit: ITO, AZO, IZO... | ||||||||
| 5- Trình dẫn kim loại: Al, Cu, Mo, Ag... | ||||||||
| 6. Phim quang học: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2... | ||||||||
| 7. bán dẫn: ZnO, InGaZnO... | ||||||||
| 8. Đẹp: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx... | ||||||||
| 9. Đồng nhất: ± 5% trên toàn bộ web | ||||||||
| Thông số kỹ thuật chung | ||||||||
| Cơ thể buồng chân không: khu vực đa áp suất một buồng | ||||||||
| Xe di động: Web Carriage | ||||||||
| Vùng thấm: 2 X Vùng phun (Thị ý: 3 Vùng phun) | ||||||||
| Nguồn phát xạ: 2 X Nguồn phát xạ cathode kép (Tìm chọn: Nguồn phát xạ cathode kép 3) | ||||||||
| Máy xử lý trước chất nền: Nguồn ion tuyến tính | ||||||||
| Chiều rộng: 1300mm | ||||||||
| Chiều kính cuộn: Φ600mm tối đa | ||||||||
| Hướng cuộn: Hai hướng | ||||||||
| Độ dày chất nền: 15 ~ 300μm | ||||||||
| Tốc độ đường web:0.5~10M/min | ||||||||
| Năng lượng web: 5,0PLI tối đa 0,5PLI phút | ||||||||
| Phân chỉnh web: ±3mm (một lần đi qua) | ||||||||
| Máy bơm chân không cao: Máy bơm turbo | ||||||||
| Máy bơm chân không thô: Máy bơm khô và máy thổi kết hợp | ||||||||
| Máy bơm ẩm: Polycold Cryogenic | ||||||||
| Kiểm soát độ dày lắng đọng: Giám sát (không cần thiết) | ||||||||
| a: truyền quang; b: kháng điện Eddy | ||||||||
| Hệ thống vận hành: Hệ thống máy tính dựa trên PLC | ||||||||
| Phòng chân không | ||||||||
| Phòng chân không được xây dựng như một hộp ngang được làm bằng thép không gỉ đánh bóng SUS304L, với một đầu mở cửa.Các khu vực phân chia phần dưới sẽ chứa các nguồn lắng đọng với phụ kiện, trong khi phần trên sẽ chứa xe web. | ||||||||
| Xây dựng buồng: Hộp ngang với một lỗ mở bên cạnh | ||||||||
| Cấu trúc buồng: Khu vực áp suất đa buồng đơn | ||||||||
| Khung khoang: SS41 Thép nhẹ, sơn | ||||||||
| Vật liệu của buồng: SUS304L Thép không gỉ đánh bóng | ||||||||
| Bộ phân vùng áp suất: tấm nhôm | ||||||||
| Xem vật liệu cổng: Polycarbonate | ||||||||
| Vùng áp suất chân không: 4 (Vùng lăn 1, Vùng lắng đọng 2, Vùng đệm 1) |
Phân phối cathode phun
Đội ngũ kỹ thuật viên có kinh nghiệm của chúng tôi cung cấp hỗ trợ kỹ thuật và dịch vụ vượt trội cho máy sơn cuộn của chúng tôi.
Chúng tôi sẵn sàng để trả lời bất kỳ câu hỏi hoặc mối quan tâm nào bạn có về máy và hoạt động của nó.và có thể cung cấp lời khuyên chuyên môn để đảm bảo hiệu suất tốt nhất của máy.
Chúng tôi cũng cung cấp bảo trì phòng ngừa và dịch vụ khẩn cấp cho máy sơn Roll to Roll của bạn.Các kỹ thuật viên của chúng tôi có quyền truy cập vào các công nghệ mới nhất và đào tạo để đảm bảo máy của bạn đang hoạt động tối ưuChúng tôi cũng cung cấp đào tạo tại chỗ và hỗ trợ kỹ thuật cho máy, cũng như phụ tùng và phụ kiện.
Chúng tôi cố gắng cung cấp mức độ dịch vụ và sự hài lòng của khách hàng cao nhất, và chúng tôi cam kết đảm bảo rằng máy sơn cuộn của bạn cung cấp sản phẩm chất lượng cao nhất mỗi lần.Nếu bạn có bất kỳ câu hỏi hoặc lo ngại nàoXin đừng ngần ngại liên hệ với chúng tôi.
