|
| Tên thương hiệu: | ROYAL |
| Số mẫu: | RTSP |
| MOQ: | 1 bộ |
| giá bán: | có thể đàm phán |
| Điều khoản thanh toán: | L/C,T/T |
| Khả năng cung cấp: | 5 Bộ mỗi tháng |
PVD Direct Plating Silver trên các bộ lọc dielectric gốm là một công nghệ lớp phủ tiên tiến được áp dụng với trạm gốc 5G và các chất bán dẫn khác cho ngành công nghiệp điện tử.Một ứng dụng điển hình là Ceramic Radiating Substrate. Xả phim dẫn bạc / đồng trên oxit nhôm (Al2O3), chất nền AlN bằng công nghệ phun chân không PVD,có trên hết một lợi thế lớn so với các phương pháp sản xuất truyền thống: DBC LTCC HTCC, có chi phí sản xuất thấp hơn nhiều. Royal Technology’s team collaborated with our customer to develop the PVD Silver Plating process successfully applying with sputtering technology which can replace conventional liquid silver brushing process.
Các ứng dụng điển hình
Chỉ để chỉ một vài, để có thêm các ứng dụng, xin vui lòng liên hệ với Royal Tech.
Hệ thống RTAS1215 batch Sputtering là phiên bản nâng cấp, hệ thống mới nhất có một số lợi thế:
Quá trình hiệu quả cao hơn
1. lớp phủ hai mặt có sẵn theo thiết kế thiết bị xoay
2. Tối đa 8 phẳng chuẩn cathode flanges cho nhiều nguồn
3. Capacity lớn lên đến 2,2 m2 chip gốm mỗi chu kỳ
4. Tự động hoàn toàn, PLC + màn hình cảm ứng, hệ thống điều khiển một cảm ứng
Chi phí sản xuất thấp hơn
1. Được trang bị 2 bộ máy bơm phân tử từ tính treo, thời gian khởi động nhanh, bảo trì miễn phí
2. Công suất sưởi tối đa
3- Hình dạng hình tám giác của buồng để sử dụng không gian tối ưu, tối đa 8 nguồn cung và 4 cathode phun để lắng đọng nhanh các lớp phủ
Thông số kỹ thuật
Mô hình: RTSP-Ag1215
Độ cao của buồng (mm): 1500
Độ kính của buồng (mm): φ1200
Phân sợi gắn cathode phun: 4
Phân lề gắn nguồn ion: 1
Vòng cáp gắn ống quang điện: 8
Các vệ tinh (mm): 16 x Φ150
Năng lượng Bias xung (KW): 36
Năng lượng phun (KW): DC36 + MF36
Arc Power ((KW): 8 x 5
Năng lượng nguồn ion (KW): 5
Công suất sưởi ấm (KW): 36
Độ cao lớp phủ hiệu quả (mm): 1020
Máy bơm phân tử trục từ tính: 2 x 3300 L/S
Máy bơm rễ: 1 x 1000m3/h
Máy bơm vòng xoay: 1 x 300m3/h
Máy bơm giữ: 1 x 60m3/h
Khả năng: 2,2 m2
Khu vực lắp đặt (L x W x H) mm: 4200*6000*3500
Insite
Thời gian xây dựng: Kể từ năm 2016
Số lượng: 3 bộ
Địa điểm: Trung Quốc
So với nhu cầu lớn của thị trường, năng suất của hệ thống lô là thấp;chúng tôi đã được dành riêng cho việc phát triển hệ thống phun In-line (tiếp tục phun đường lắng đọng) với tự động robot tải / thả thiết bịBất cứ ai quan tâm đến hệ thống này, xin vui lòng liên hệ với kỹ thuật viên của chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật.
