|
| Tên thương hiệu: | ROYAL |
| Số mẫu: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 bộ |
| giá bán: | có thể đàm phán |
| Điều khoản thanh toán: | L/C, T/T |
| Khả năng cung cấp: | 10 bộ mỗi tháng |
Magnetron Sputtering được sử dụng rộng rãi để lắng đọng kim loại lửa như tantalum, titanium, tungsten,Niobium, đòi hỏi nhiệt độ lắng đọng rất cao, và kim loại quý: Vàng và bạc và cũng được sử dụng để lắng đọng các kim loại điểm nóng chảy thấp như đồng, nhôm, niken, crôm vv.
Tantalum được sử dụng nhiều nhất trong điện tửngành công nghiệpnhư một lớp phủ bảo vệ vì khả năng chống xói mòn tốt.
Ứng dụng của phim mỏng Tantalum phun:
1. Ngành công nghiệp vi điện tử vì các bộ phim có thể được phun phản ứng và do đó có thể kiểm soát điện trở và hệ số nhiệt độ của điện trở;
5Ngành công nghiệp bán dẫn, chip vi điện tử
Ưu điểm kỹ thuật
Hệ thống lắng đọng Sputtering Tantalum tiêu chuẩn của Royal Technology: RTSP1000
| Cấu hình chính | |
| Mô hình | RTSP1200 |
| Công nghệ |
Phân xạ magnetron DC xung Ống quang quang (đối với tùy chọn, được xác định bằng quy trình lớp phủ), nguồn chùm ion |
| Thiết bị phòng | Thép không gỉ (S304) |
| Kích thước phòng | Φ1200*1300mm (H) |
| Loại phòng | Hình D, buồng hình trụ |
| ROTATION RACK & JIG SYSTEM | Hệ thống điều khiển bằng vệ tinh hoặc hệ thống điều khiển trung tâm |
| Các nguồn cung cấp điện |
Nguồn cung cấp điện DC: 2 ~ 4 bộ Nguồn ion: 1 bộ |
| Vật liệu nộp đơn | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu vv |
| Nguồn gửi tiền | Đường phẳng Sputtering Cathodes + vòng cung cathodes |
| Kiểm soát | PLC ((Điều khiển logic lập trình) + IPC (Mô hình hoạt động bằng tay + tự động + bán tự động) |
| Hệ thống bơm | Máy bơm vòng xoay: SV300B 1 bộ (Leybold) |
| Máy bơm rễ: WAU1001 1 bộ (Leybold) | |
| Máy bơm giữ: D60C 1 bộ (Leybold) | |
| Máy bơm phân tử từ tính: MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
| Máy kiểm soát dòng chảy khối lượng khí | 2 kênh: Ar và N2 |
| VACUUM GAGE | Inficon hoặc Leybold |
| Hệ thống an toàn | Nhiều khóa an toàn để bảo vệ các nhà điều hành và thiết bị |
| Sưởi ấm | Máy sưởi: 20KW. Max. temp.: 450 °C |
| Làm mát | Máy làm mát công nghiệp (nước lạnh) |
| POWER MAX. | 100KW (khoảng.) |
| tiêu thụ điện trung bình | 45 KW (khoảng) |
| Trọng lượng tổng | T (khoảng) |
| Dấu chân | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
| Năng lượng điện |
Đường AC 380V/3 pha/50HZ / 5 |
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm các ứng dụng và thông số kỹ thuật.
